NanoMap-D三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款測(cè)量計(jì)量型設(shè)備。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。 該款儀器可以看做是表面研究的萬(wàn)用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設(shè)計(jì)特點(diǎn)，彌補(bǔ)兩種模式的局限，發(fā)揮表面形貌儀的測(cè)量極限。光學(xué)非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點(diǎn)。探針接觸模式方便快捷，制樣簡(jiǎn)單，測(cè)量材料廣泛。兩種模式相結(jié)合可以對(duì)更多形狀、性狀、材質(zhì)的試樣進(jìn)行表面形貌的研究。
三維表面形貌/輪廓儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺(tái)階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過(guò)于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。
測(cè)量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好，材料應(yīng)用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品zui低的。垂直分辨率可達(dá)0.01 nm （ phase-shift mode） 可測(cè)跨學(xué)科、跨領(lǐng)域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料（金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…）；
1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等
2、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等
3、表界面測(cè)量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量
6、微電子表面分析和MEMS表征
輪廓儀的主要特點(diǎn)：
高精度
· 的縱向分辨率：0.1 nm （ 接觸式）；2 nm（光學(xué)非接觸式）
· 對(duì)周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性
· 沒(méi)有機(jī)械過(guò)濾
寬闊的垂直測(cè)量范圍
· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式
· 縱向掃描范圍 300 to 3900 μm
· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
· 透明，不透明，反射光強(qiáng)等多種材料
· 垂直臺(tái)階，高寬深比，隆起，孔洞
· 脆性的材料，軟材料，柔性材料表面
· 尖銳的，堅(jiān)硬的，磨損的表面
適應(yīng)性強(qiáng)
· 白光光源，人體安全設(shè)計(jì)，長(zhǎng)壽命白光LED 免維護(hù)?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室，甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的*結(jié)合
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm。
· 在掃描過(guò)程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察
· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器，同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍
