ET4000是Kosaka公司推出的全自動接觸式微細(xì)形狀測定儀，具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。

日本Kosaka輪廓儀（臺階儀）

日本Kosaka株式會社于1950年成立，專業(yè)生產(chǎn)、開發(fā)和銷售各種精密測試儀器、液壓設(shè)備、自動機械和包裝機械等產(chǎn)品。公司于1950年推出其*個產(chǎn)品，SD-1表面粗糙分析儀。從此，在隨后的五十多年，產(chǎn)品不斷完善和更新，Kosaka公司的精密分析儀器始終是行業(yè)里的者。

ET4000臺階儀介紹：

      ET4000是Kosaka公司推出的全自動接觸式微細(xì)形狀測定儀，具有高精確性、穩(wěn)定性和重復(fù)性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關(guān)物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復(fù)精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不同應(yīng)用方向的需要提供了多種可選配置，通過選配三維成像附件套裝還可以*地擴充儀器的功能。

主要參數(shù)：

儀器特點：

l 具有的臺階高度重復(fù)性5Å （1σ）和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）。

l 高分辨率，縱軸zui大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度。

l 超高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細(xì)表面形狀、段差、平面度、粗度、應(yīng)力分析等。

l 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料。