美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過程中對(duì)測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，brooks氣體質(zhì)量流量控制器通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計(jì)成質(zhì)量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容。

一、brooks氣體質(zhì)量流量控制器概覽

Brooks的數(shù)字與模擬熱式質(zhì)量流量控制器具有業(yè)界*的性能—我們的許多產(chǎn)品都已連續(xù)工作了20年以上。我們的新型熱式質(zhì)量流量設(shè)備在響應(yīng)時(shí)間、精度、可重復(fù)性、調(diào)節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。

我們的熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品還通過了多種防護(hù)（IP）認(rèn)證，適用于多種危險(xiǎn)場所。

二、brooks氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

• 較低的泄漏率
• 結(jié)構(gòu)緊湊
• 內(nèi)螺紋排氣口拋光處理
• 常閉閥
• 對(duì)安裝位置不敏感

三、brooks氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

• 數(shù)字信號(hào)/模擬信號(hào)輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
• 介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
• 流量范圍:0.03-30slpm
• 量程比：50:1
• zui大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
• 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
• 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
• 精度:±1%FS
• 重復(fù)性：0.25% of rate
• 響應(yīng)時(shí)間：1-3s
• 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質(zhì)、量程有關(guān)）
• 操作溫度范圍：5~65℃
• 輸出信號(hào)：0-5VDC或4-20mA
• 電源：+/-15V

?四、brooks氣體質(zhì)量流量控制器其他系列產(chǎn)品

• SLA5800S---數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
• SLA5800 enhanced series
• 4800 series
• 5800S series
• 5851EM