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CMI900/950系列X射線熒光測厚儀是一種功能強(qiáng)大的材料涂/鍍層測量儀器，可應(yīng)用于材料的涂/鍍層厚度、材料組成、貴金屬含量檢測等領(lǐng)域，為產(chǎn)品質(zhì)量控制提供準(zhǔn)確、快速的分析?；赪indows2000中文視窗系統(tǒng)的中文版SmartLink FP應(yīng)用軟件包，實(shí)現(xiàn)了對CMI900/950主機(jī)的全面自動化控制，分析中不需要任何手動調(diào)整或手動參數(shù)設(shè)定?？赏瑫r(shí)測定zui多5層、15種元素。數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)報(bào)告功能允許用戶自定義多媒體分析報(bào)告格式，以滿足您特定的分析報(bào)告格式要求；如在分析報(bào)告中插入數(shù)據(jù)圖表、測定位置的圖象、CAD文件等。統(tǒng)計(jì)功能提供數(shù)據(jù)平均值、誤差分析、zui大值、zui小值、數(shù)據(jù)變動范圍、相對偏差、UCL（控制上限）、LCL（控制下限）、CpK圖、直方圖、X-bar/R圖等多種數(shù)據(jù)分析模式。
CMI900/950系列X射線熒光測厚儀能夠測量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品；并且測量點(diǎn)zui小可達(dá)0.025 x 0.051毫米。
CMI900系列采用開槽式樣品室，以方便對大面積線路板樣品的測量。它可提供五種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為：
● 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
● 擴(kuò)展型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
● 可調(diào)高度型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。
● 程控樣品臺：XYZ軸自動控制。
● 超寬程控樣品臺：XYZ軸自動控制。
CMI950系列采用開閉式樣品室，以方便測定各種形狀、各種規(guī)格的樣品。同樣，CMI950可提供四種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為：
● 全程控樣品臺：XYZ三軸程序控制樣品臺，可接納的樣品zui大高度為150mm，XY軸程控移動范圍為300mm x 300mm。此樣品臺可實(shí)現(xiàn)測定點(diǎn)自動編程控制。
● Z軸程控樣品臺：XY軸手動控制，Z軸自動控制，可接納的樣品zui大高度為270mm。
● 全手動樣品臺：XYZ三軸手動控制，可接納的樣品zui大高度為356mm。
可擴(kuò)展式樣品臺用于接納超大尺寸樣品。
CMI900/950主要技術(shù)規(guī)格如下：
No. |
主要規(guī)格 |
規(guī)格描述 |
1 |
X射線激發(fā)系統(tǒng) |
垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng) |
空冷式微聚焦型X射線管，Be窗 |
標(biāo)準(zhǔn)靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等 |
功率：50W（4-50kV，0-1.0mA）－標(biāo)準(zhǔn)
75W（4-50kV，0-1.5mA）－任選
X射線管功率可編程控制 |
裝備有安全防射線光閘 |
2 |
濾光片程控交換系統(tǒng) |
根據(jù)靶材，標(biāo)準(zhǔn)裝備有相應(yīng)的一次X射線濾光片系統(tǒng) |
二次X射線濾光片：3個位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選 |
位置傳感器保護(hù)裝置，防止樣品碰創(chuàng)探測器窗口 |
3 |
準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng) |
zui多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器，程序交換控制 |
多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選：
－圓形，如4、6、8、12、20 mil等
－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 |
4 |
測量斑點(diǎn)尺寸 |
在12.7mm聚焦距離時(shí)，zui小測量斑點(diǎn)尺寸為：0.078 x 0.055 mm（使用0.025 x 0.05 mm準(zhǔn)直器） |
在12.7mm聚焦距離時(shí)，zui大測量斑點(diǎn)尺寸為：0.38 x 0.42 mm（使用0.3mm準(zhǔn)直器） |
5 |
X射線探測系統(tǒng) |
封氣正比計(jì)數(shù)器 |
裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路 |
6 |
樣品室 |
CMI900 |
CMI950 |
|
－樣品室結(jié)構(gòu) |
開槽式樣品室 |
開閉式樣品室 |
－zui大樣品臺尺寸 |
610mm x 610mm |
300mm x 300mm |
－XY軸程控移動范圍 |
標(biāo)準(zhǔn)：152.4 x 177.8mm
任選：50.8mm x 152.4mm
50.4mm x 177.8mm
101.6 x 177.8mm
177.8 x 177.8mm
610mm x 610mm |
300mm x 300mm |
－Z軸程控移動高度 |
43.18mm |
XYZ程控時(shí)，152.4mm
XY軸手動時(shí)，269.2mm |
－XYZ三軸控制方式 |
多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制 |
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產(chǎn)品系列：· CMI120磁性測厚儀（膜厚儀）
· CMI140渦流測厚儀 （膜厚儀）
· CMI150兩用測厚儀 （膜厚儀）
· CMI233雙探頭測厚儀（膜厚儀）
· CMI243測厚儀（測鐵上鍍鋅、鎳可達(dá)到700測厚儀精度）
· CMI700測厚儀（膜厚儀）
· X射線熒光測厚儀（膜厚儀）
