總評(píng):
LEXT 4000備有常規(guī)顯微鏡的功能，并有BF，DF，DIC等多種觀察方法。它以405nm短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光為光源,通過顯微鏡內(nèi)高精度掃描裝置對(duì)樣品表面的二維掃描，獲得水平分辨率高達(dá)0.12μm的表面顯微圖像,通過顯微鏡高精度步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)和5nm光柵控制的聚焦裝置，運(yùn)用共聚焦技術(shù)（Confocal），逐層獲取樣品各個(gè)二維圖像和焦面的縱向空間坐標(biāo)。經(jīng)計(jì)算機(jī)處理,將各個(gè)焦平面的顯微圖象疊加,獲得樣品表面的三維真實(shí)形態(tài)（近似SEM掃描電鏡的Morphologic圖像,將采樣數(shù)據(jù)運(yùn)算后,可獲得亞微米級(jí)的線寬,面積,體積,臺(tái)階,線與面粗糙度,透明膜厚，幾何參數(shù)等測(cè)量數(shù)據(jù)?？勺鳛楦呔葴y(cè)量設(shè)備，符合計(jì)量追溯體系（ISO）。附加金相插件，可做金相分析。
精益求精的測(cè)量性能
1> 輕松檢測(cè)尖銳角
采用了有著高N.A. 的物鏡，和能zui大限度發(fā)揮405 nm 激光性能的光學(xué)系統(tǒng)，LEXT OLS4000可以精確的測(cè)量一直以來無法測(cè)量的有尖銳角的樣品。
2> 克服反射率的差異
LEXT OLS4000 采用了新開發(fā)的雙共焦系統(tǒng)。由于配置了2 個(gè)共焦光學(xué)系統(tǒng)，那些一直以來使用激光顯微鏡難以測(cè)量的、含有不同反射率材料的樣品，也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。
3> 穩(wěn)定的測(cè)量環(huán)境
為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測(cè)量，LEXT OLS4000 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡皮組成的“混合減震機(jī)構(gòu)”。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進(jìn)行測(cè)量作業(yè)，不需要的防震平臺(tái)。
4> 更加真實(shí)的再現(xiàn)微小凸凹
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對(duì)比，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察，即使是低倍率的動(dòng)態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
4> 對(duì)應(yīng)大范圍觀察
在高倍率影像觀察中，視場(chǎng)范圍會(huì)變窄。LEXT OLS4000 搭載了縫合功能，zui多可拼接500 幅影像，從而能得到高分辨率和大視場(chǎng)范圍的影像數(shù)據(jù)。不僅如此，LEXT OLS4000 還能對(duì)該大視場(chǎng)影像進(jìn)行3D 顯示和3D 計(jì)測(cè)。
的粗糙度分析能力
1> 將激光納入表面粗糙度測(cè)量?jī)x的標(biāo)準(zhǔn)中
作為表面粗糙度測(cè)量?jī)x的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4000。對(duì)LEXT OLS4000 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x同樣的校正，并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對(duì)于使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度模式，可以用自動(dòng)拼接功能測(cè)量樣品表面直線距離zui長(zhǎng)為100 mm 的粗糙度。
OLS4000與接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x的測(cè)量截面曲線比較（截面全長(zhǎng)1.6 mm）
參數(shù)一覽
LEXT OLS4000 輪廓曲線參數(shù)一覽
LEXT OLS4000 表面粗糙度測(cè)量參數(shù)一覽（符合ISO25178 草案）
2> 微細(xì)粗糙度
接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x
激光顯微鏡
3> 非接觸
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
4> 微細(xì)處測(cè)量
使用接觸式表面粗糙度測(cè)量?jī)x，其觸針無法進(jìn)入微小領(lǐng)域，所以不能對(duì)微小領(lǐng)域進(jìn)行測(cè)量。而激光顯微鏡可以正確定位，能輕松測(cè)量出特定微小領(lǐng)域的粗糙度。
3D測(cè)量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000 規(guī)格
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正） |
| 總倍率 | 108x～17280x |
| 觀察視場(chǎng) | 2560x2560～16x16 µm |
| 機(jī) 身 | 觀察方法 | | | 明視場(chǎng)／微分干涉／激光／激光微分干涉 |
| | 激光 | | | 405 nm 半導(dǎo)體激光 |
| | 白色照明 | | | 白色LED照明 |
| | 對(duì)焦單元 | 粗調(diào)Z軸載物臺(tái) | 劃動(dòng) | 100 mm |
| | | | zui大樣本高度 | 100 mm |
| | | 細(xì)調(diào)Z軸物鏡轉(zhuǎn)換器 | 測(cè)量劃動(dòng) | 10 mm |
| | | | 驅(qū)動(dòng)分辨率 | 0.01 µm |
| | | | 重復(fù)性 | σn-1=0.012 µm |
| | | 物鏡 | | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x |
| | | 光學(xué)變焦 | | 1x～8x |
| 載物臺(tái) | 100x100 mm |
| 外形尺寸 | 276（W）x358（D）x405（H） mm |
