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Alicat MCE和MCV系列真空應(yīng)用流量控制器

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利用艾里卡特MCE或MCV系列產(chǎn)品更新您的真空鍍膜機。MCE系列產(chǎn)品的特征如下:與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快,外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)MFC實現(xiàn)端對端的匹配連接。
MCV和MCE聯(lián)系緊密,采用內(nèi)置氣動截止閥,適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上,防止在設(shè)定點為零時出現(xiàn)污染情況。

詳細信息 在線詢價

Alicat產(chǎn)品采用層流差壓式原理,擁有LFE技術(shù),憑借航天級水準(zhǔn),*支持美國*(NASA)、SpaceX探空火箭項目,并為科研及工業(yè)領(lǐng)域提供快捷、穩(wěn)定的技術(shù)解決方案。

產(chǎn)品類型:氣體或液體質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力計、壓力控制器。

客戶行業(yè):實驗科研、環(huán)境保護、生物醫(yī)藥、過程控制、能源化工、半導(dǎo)體電子以及相關(guān)的公共事業(yè)。

應(yīng)用領(lǐng)域:計量檢測、泄漏測試、生物發(fā)酵、燃燒控制、真空鍍膜、光伏、燃料電池等。

 

任何天氣條件下均可準(zhǔn)確完成空氣流量校準(zhǔn)

簡單升級老化的熱式流量控制器

利用艾里卡特MCEMCV系列產(chǎn)品更新您的真空鍍膜機。MCE系列產(chǎn)品的特征如下:與我們標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器的控制響應(yīng)速度一樣快,外形包括1/4 VCR焊接接頭且能與SEMI標(biāo)準(zhǔn)MFC實現(xiàn)端對端的匹配連接。

MCVMCE聯(lián)系緊密,采用內(nèi)置氣動截止閥,適用于高真空應(yīng)用。將空氣管線連接到截止閥上,防止在設(shè)定點為零時出現(xiàn)污染情況。

多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。

連接。利用以太網(wǎng)/IPEtherCAT、DeviceNet、Profibus、ModbusRTUTCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。

耐用。MCEMCV系列流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

 

可用量程:大0-20 slpm;小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標(biāo)簽)

可調(diào)比:200:1MCE/MCV)或者100:1 MCES/MCVS

標(biāo)準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)

高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)

可重復(fù)性:0.2%滿量程

標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù):50-100ms(若有PID調(diào)節(jié)功能,可縮短至25ms

氣動閥漏氣率(僅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(大值,氦氣)

無需預(yù)熱時間

 

工作條件

兼容氣體:98種(MCE/MCV系列)或130種(MCES/MCVS系列)預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

工作溫度:-10°C+60°C

大內(nèi)部壓力(靜態(tài)):145 psig160 psia

耐受壓力:175 psig190 psia

STP/NTP:用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP


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