Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統(tǒng)基礎(chǔ)研究、地質(zhì)分析、半導(dǎo)體分析、同位素比值研究



樣品種類：

半導(dǎo)體材料、透明玻璃、石英、金屬材料

Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統(tǒng)是目前市場上非常好用的激光剝蝕系統(tǒng)。它配備有一個結(jié)構(gòu)緊湊且密封的工業(yè)級準(zhǔn)直激光器。該系統(tǒng)可配置1028nm、257nm和206nm波長的激光器,若有需要也能設(shè)計使用其他波長的激光器。Excite Pharos 飛秒激光剝蝕系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)10 J/cm² (1028nm)、5 J/cm² (257nm)和3 J/cm² (206nm)的能量密度。*穩(wěn)定運行情況下，該系統(tǒng)剝蝕穩(wěn)定度RSD能達到0.1%。

Excite Pharos 能夠與HelEx II樣品池相互配合，以提供一個快速、持續(xù)、穩(wěn)定的沖洗和剝蝕環(huán)境。

Teledyne Photon Machines 公司擁有University of Michigan 提供的許可，提供飛秒激光剝蝕系統(tǒng)用于化學(xué)分析，涉及U.S. patent 5,656,186 and U.S. Reissue Patent RE 37,585。與這些University of Michigan相關(guān)的的侵權(quán)問題的保護也涉及到使用該技術(shù)的Teledyne Photon Machines 公司的用戶。

性能參數(shù)

l  Light Conversion Pharos 2mJ或者Pharos SP 1.5 mJ

l  激光波長：1028nm、257nm、206nm

l  脈沖持續(xù)時間小于190 fs - 10 ps

l  脈沖能量能達到2mJ

l  可調(diào)的脈沖頻率：1Hz - 200kHz

l  波長轉(zhuǎn)換范圍廣（諧波發(fā)生器、OPA、NOPA、連續(xù)發(fā)生器）

l  只有一次光學(xué)折射，用于展寬小脈沖

l  每一波長都有獨立的光路

l  獨立的攝像機和激光光學(xué)組件能夠更好的查看樣品剝蝕點

l  從1 - 65微米連續(xù)可調(diào)的光斑大小

l  與HelEx II型主動樣品池兼容

l  集成的冷卻系統(tǒng)，減少碳排放