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LS-WPS150-SE 高分辨率晶圓測(cè)試探針臺(tái)

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緊湊的結(jié)構(gòu);兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng);高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用;大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試;精密絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng);無回程差設(shè)計(jì);1微米以上電極/PAD測(cè)試;VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測(cè)試;VCSEL/LD/LED/PD 的LIV特性測(cè)試;器件的高頻特性測(cè)試(可至300GHz頻率)

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產(chǎn)品特性

 1. 緊湊的結(jié)構(gòu)

2. 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動(dòng)

3. 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實(shí)驗(yàn)室使用

4. 大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試

5. 精密絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu),線性移動(dòng)

6. 無回程差設(shè)計(jì)

7. 1微米以上電極/PAD測(cè)試

8. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測(cè)試

9. VCSEL/LD/LED/PD LIV特性測(cè)試

10. 器件的高頻特性測(cè)試(可至300GHz頻率)

 

 

主要技術(shù)指標(biāo)

 

型號(hào)

LS-WPS100-SE

LS-WPS150-SE

LS-WPS200-SE

LS-WPS300-SE

外形

580mm長*

620mm寬*

730mm高

600mm長*

700mm寬*

730mm高

660mm長*

660mm寬*

700mm高

1030mm長*

820mm寬*

730mm高

重量

70公斤

80公斤

85公斤

約180公斤

電力需求

220VC, 50~60Hz

樣品臺(tái)

尺寸

4英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

6英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

8英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

12英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

X-Y行程

4*4英寸

6*6英寸

8*8英寸

12*12英寸

Z軸行程

6mm(快速切換)/6mm(微調(diào))

移動(dòng)精度

10um/1um

樣品固定方式

真空吸附

背電極測(cè)試功能

有,樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空

針座平臺(tái)

U型平臺(tái),多可放置6個(gè)針座

U型平臺(tái),多可放置8個(gè)針座

U型平臺(tái),多可放置10個(gè)針座

U型平臺(tái),多可放置12個(gè)針座

光學(xué)特性

顯微鏡行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm

顯微鏡移動(dòng)精度

1um

切換鏡頭方式

顯微鏡快速傾仰30

放大倍數(shù)

16~100X/20~4000X

鏡頭規(guī)格

目鏡:10X;物鏡:5X,10X,20X,50X,100X(選配)

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

點(diǎn)針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

機(jī)械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏電精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱時(shí))

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口

應(yīng)用方向

VCSEL芯片及LD/LED/PD測(cè)試,PCB/封裝器件測(cè)試,射頻測(cè)試等。


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