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LS-WPS150S 緊湊型晶圓測試探針臺

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緊湊的結構;輕巧的質量;高等院校/研究所/工業(yè)用戶實驗室使用;大可用于6英寸以內樣品測試;精密絲杠傳動結構,線性移動;無回程差設計;50微米以上電極/PAD測試;VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試;VCSEL/LD/LED/PD-LIV特性測試

詳細信息 在線詢價

產品特性

1. 緊湊的結構
2. 輕巧的質量
3. 高等院校/研究所/工業(yè)用戶實驗室使用
4. 大可用于6英寸以內樣品測試
5. 精密絲杠傳動結構,線性移動
6. 無回程差設計
7. 50微米以上電極/PAD測試
8. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
9. VCSEL/LD/LED/PD-LIV特性測試

 

主要技術指標

型號

LS-WPS100

LS-WPS150S

LS-WPS150

外形

400mm長*

400mm寬*

550mm高

400mm長*

400mm寬*

550mm高

680mm長*

530mm寬*

mm高

重量

約30公斤

約35公斤

約45公斤

電力需求

220VC, 50~60Hz

樣品臺

尺寸

4英寸,可360°旋轉

6英寸,可360°旋轉

6英寸,可360°旋轉

X-Y行程

4*4英寸

4*4英寸

6*6英寸

移動精度

10um

樣品固定方式

真空吸附

背電極測試功能

有,樣品臺電學獨立懸空

針座平臺

U型平臺,多可放置6個小型針座

U型平臺,多可放置8個小型針座

光學特性

顯微鏡行程

可360度旋轉,Z軸:50.8mm

放大倍數

16~100X (200X可選)

CCD像素

50W(模擬)/200W(數字)/500W(數字)

點針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

機械精度

10微米/2微米/0.7微米

漏電精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱時)

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸接口

應用方向

VCSEL芯片及LD/LED/PD測試,PCB/封裝器件測試,射頻測試等。

 


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