| 參考價 | 面議 |
步進壓電平臺SPS35XS是基于步進壓電致動器（SPA）的原理設(shè)計。它可以提供：
♦更長的行程
♦微/納米分辨率的定位
它可以通過LA75系列的單通道線性放大器驅(qū)動。這種平臺可以運行超過10e6個周期，這是由于它采用了先前*的摩擦面設(shè)計。該步進壓電平臺可以應(yīng)用于微定位和閥門等領(lǐng)域中。其他指標的步進壓電平臺可以通過使用更小或更大的APA®致動器改造而成。
| 參數(shù) | 單位 | SPS35XS |
| 型號 |
| V- SPSXS35 |
| 備注 |
| Preliminary data |
| 傳感器 |
| MAG |
| 主動軸 |
| TX |
| 大空載位移[Tx] | mm | 5 |
| Z方向的大面外位移 | um | 10 |
| Z方向的大轉(zhuǎn)動 | urad | 0 |
| XY方向的大轉(zhuǎn)動 | urad | 5 |
| 電壓范圍 | V | -20…150 |
| 硬度 | N/um | 0.5 |
| 高度(Z 軸) | mm | 15 |
| 尺寸(X & Y 軸) | mm | 30*30 |
| 分辨率 | nm | 35.0 |
| 質(zhì)量 | g | 20 |
| 空載共振頻率(在致動方向) | Hz | 200 |
| 響應(yīng)時間 | ms | 2.50 |
| 電容 (每個電氣接口) | uF | 0.25 |
| 使用壽命（周期） |
| 1.E+06 |
| 機械接口(有效負載) |
| 4M1.6螺紋孔[]17*27 |
| 機械接口(框架) |
| 4M1.6螺紋孔[]17*22 |
| 電氣接口 |
| 1RG 178B/U 同軸電纜 |
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