英國(guó)Nanobean NB5 電子束光刻機(jī)具有良好的穩(wěn)定性，平均正常運(yùn)行時(shí)間超過(guò)93%

英國(guó)Nanobean NB5 電子束光刻機(jī)

產(chǎn)品詳情

具有良好的穩(wěn)定性，平均正常運(yùn)行時(shí)間超過(guò)93%

規(guī)格:

束流電壓范圍為: 20kV - 100kV

光刻膠的特征尺寸: <8nm (光刻精度)

500um區(qū)域拼接/疊加誤差: 小于25nm

自動(dòng)裝載5卡盤氣鎖系統(tǒng)
 

英國(guó)Nanobean NB5 電子束光刻機(jī)發(fā)展目標(biāo):

改進(jìn)設(shè)計(jì)和組件以減少日常服務(wù)需求。                                                             

實(shí)現(xiàn)每年少于5%的機(jī)器故障停機(jī)時(shí)間。                                  

提高性能                                      

便于批量生產(chǎn)。                                       

NB5系統(tǒng)將為進(jìn)一步發(fā)展高偏轉(zhuǎn)速度和進(jìn)一步集成電子提供平臺(tái)。

主營(yíng)產(chǎn)品Product Catalog:                                  

A.特殊光源-UV燈/曝光燈Specialty Lamp                                 

 紫外光清洗燈, UV固化燈, 曝光燈, 點(diǎn)光源燈, 殺菌消毒燈, 醫(yī)療燈,金鹵燈, 臭氧燈, 曬版燈, 鹵鎢燈, 紅外線燈, 特殊熒光燈等。

B.光源設(shè)備Lights Equipments               

 紫外光清洗機(jī), UV固化機(jī), 點(diǎn)光源機(jī), 曝光機(jī), 曬版機(jī)，水凈化機(jī),環(huán)境/醫(yī)療殺菌消毒裝置，光化學(xué)反應(yīng)裝置等。

C.UV儀器/耗材/配件

 UV能量表, UV照度計(jì), UV光譜計(jì), 麥拉, 水套, 離子罐, 曝光尺, 真空泵等。

D. 德國(guó)DIENER等離子清洗機(jī), 德國(guó)OPTOSOL太陽(yáng)能儀器