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FT-330系列 普通四探針方阻電阻率測試儀

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FT-330系列普通四探針方阻電阻率測試儀按照硅片電阻率測量的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM F84)及標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)制造該儀器設(shè)計(jì)符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn),本機(jī)配置232電腦接口及USB兩種接口,本機(jī)結(jié)合采用范德堡測量原理能改善樣品因幾何尺寸、邊界效應(yīng)、探針不等距和機(jī)械游移等外部因素對測量結(jié)果的影響及誤差,比市場上其他普通的四探針測試方法更加完善和進(jìn)步特別是方塊電阻值較小的產(chǎn)品測量,更加準(zhǔn)確.本儀器本儀器采用四探針單電測量法適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門,是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示,無需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電阻率單位自動(dòng)選擇,儀器自動(dòng)測量并根據(jù)測試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。采用高精度AD芯片控制,恒流輸出,結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便,運(yùn)輸安全、使用方便;選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成報(bào)表;本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率,配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項(xiàng)目要求選購. 規(guī)格型號FT-331FT-332FT-333FT-334FT-335FT-3361.方塊電阻范圍10-4~2×105Ω/□10-4~2×103Ω/□10-3~2×105Ω/□10-3~2×103Ω/□10-2~2×105Ω/□10-2~2×103Ω/□2.電阻率范圍10-5×106cm10-5×104-cm10-4~2×106Ω-cm10-4~2×104-cm10-3~2×106Ω-cm10-3~2×104-cm3.測試電流范圍0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA4.電流精度±0.1%讀數(shù)±0.2%讀數(shù)±0.2%讀數(shù)±0.3%讀數(shù)±0.3%讀數(shù)±0.3%讀數(shù)5.電阻精度≤0.3%≤0.3%≤0.3%≤0.5%≤0.5%≤0.5%6.顯示讀數(shù)液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率7.測試方式普通單電測量8.工作電源輸入: AC 220V±10% 50Hz 功耗:<30W 9.整機(jī)不確定性誤差≤4%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果)10.選購功能選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺

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