產(chǎn)品型號

100W小型手動匹配型射頻電源RF-100-LD

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 110V-240V 50Hz/60Hz

2、輸入功率：5W-100W（可調(diào)），穩(wěn)定性±1%        

3、射頻頻率：13.56MHz，穩(wěn)定性±0.005%

4、匹配：手動匹配

5、冷卻：風(fēng)冷

6、噪音：<50dB

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：390mm×260mm×105mm

可選配件

1、1"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。

2、同時(shí)購買100W射頻發(fā)射器和1"磁控濺射頭時(shí)，本司贈送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射

 　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。

3、循環(huán)水冷機(jī)，流量為16L/min，水箱容積為6L。