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MSA-100-3D顯微式測振儀

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MSA-100-3D顯微式測振儀


產品特點:

? 實時振動測量,高達 25MHz 的大帶寬
? 用于面外和面內振動測量,振幅分辨率達亞皮米級
? 單點式和全場掃描式振動測量
? 激光光斑小于 4μm,橫向分辨率*
? 測試距離大,可達38mm
? 可與常見的MEMS商用探針測試臺兼容

應用領域:

? 慣性傳感器,如加速度計和陀螺儀

? 微機電傳感器和致動器 (MEMS)

? 打印機噴墨頭

? 壓力傳感器薄膜

? 耳機、微型鏡頭等







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