Zeta-20 臺(tái)式光學(xué)輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用ZDot™ 技術(shù)和 Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度。

Zeta-20 的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測(cè)技術(shù)。ZDot™ 測(cè)量模式可同時(shí)采集高分辨率 3D 數(shù)據(jù)和 True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。其他 3D 測(cè)量技術(shù)包括白光干涉測(cè)量、Nomarski 干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測(cè)量。ZDot 或集成寬帶反射儀都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量。Zeta-20 也是一種顯微鏡，可用于樣品復(fù)檢或自動(dòng)缺陷檢測(cè)。 Zeta-20 通過提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量以及缺陷檢測(cè)功能，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。