波前傳感器 1.HASO4寬帶 
主要特點(diǎn)： •全光譜范圍校準(zhǔn)在350 nm -1100nm •λ/ 100精度超過(guò)600λ動(dòng)態(tài)范圍 •測(cè)量相位和強(qiáng)度，同時(shí)和獨(dú)立 •內(nèi)部微透鏡陣列技術(shù)制造 •20Hz，全分辨率 •WaveView或HASO v3.2，行業(yè)完整的軟件包包括在內(nèi) •WaveKit (SDK of WaveView)兼容C，LabVIEW和MATLAB 詳細(xì)參數(shù)： 描述 | 規(guī)格 | 孔徑 | 7.0 x 5.2 mm² | 微透鏡數(shù) | 68 x 50 | 傾斜動(dòng)態(tài)范圍 | > ± 3° (600 λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 | ±0.018 m to ± ∞ (450 λ) | 可重復(fù)性(rms) | < λ/200 | 模式下波前測(cè)量精度 (rms) λbetween 350 and 600 nm λbetween 600 and 1100 nm | < 6nm < λ/100 | 空間分辨率 | ~ 105 µm | 大采集頻率 | 20 Hz | 外部觸發(fā) | TTL signal | 校準(zhǔn)光譜范圍 | 350-1100 nm | 尺寸 / 重量 | 46x56x56 mmᵌ/150g | 工作溫度 | 15-30° C | 接口 / 功耗 | USB 3.0 / 2.9 W | | Ethernet / 2.9 W | 操作系統(tǒng) | Win XP, Win 7 (x86/x64) |
2.HASO4 可見光 
主要特點(diǎn)： ·10 nm rms精度在整個(gè)可見光譜(單色或多色) ·優(yōu)化為大波長(zhǎng)范圍(400 – 700nm) ·測(cè)量相位和強(qiáng)度，同時(shí)和獨(dú)立 ·內(nèi)部的微透鏡陣列技術(shù)制造 ·幀速率的100 Hz，全分辨率 ·WaveView業(yè)界完整的軟件包包括在內(nèi) ·WaveKit SDK兼容C，LabVIEW和MATLAB ·C-mount兼容入口孔徑——外部觸發(fā)功能 詳細(xì)參數(shù)： 描述 | 全解析度 | 孔徑 | 3.6 x 4.6 mm² | 微透鏡數(shù) | 32 x 40 | 傾斜動(dòng)態(tài)范圍 | > ± 3° (400 λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 | ± 0.018 m to ± ∞ (350 λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 - maximum NA | 0.1 | 可重復(fù)性 (rms) | 7.5 nm | 模式下波前測(cè)量精度 (rms) | 10 nm | 傾斜測(cè)量靈敏度 (rms) | 5 μrad | 聚焦測(cè)量靈敏度(rms) | 3·10-3m-1 | 空間分辨率 | ~ 110 μm | 大采集頻率 | 100 Hz | 工作波長(zhǎng)范圍 | 400 - 700 nm | 擴(kuò)展波長(zhǎng)范圍 | not available | 吃寸 / 重量 | 42x 42 x 42 mm /150g | 工作溫度 | 15 – 30° C | 接口/ 供電電源 | USB 3.0 / 2.7 W via USB | 操作系統(tǒng) | Win 7 (x86 / x64) | WaveView metrology software | included | 外觸發(fā)器 | yes |
3.HASO4 FIRST
主要特點(diǎn)： ·λ/ 100精度超過(guò)400λ動(dòng)態(tài)范圍 ·測(cè)量相位和強(qiáng)度，同時(shí)和獨(dú)立 ·內(nèi)部的微透鏡陣列技術(shù)生產(chǎn) ·幀率100 Hz為高速高分辨率或150 Hz為高速采集 ·HASOv3，業(yè)界完整的軟件包包括在內(nèi) ·核心引擎SDK HASOv3兼容的C + +，LabVIEW和MATLAB ·C-mount兼容入口孔徑----外部觸發(fā)功能 詳細(xì)參數(shù)： 描述 | 全解析度 | 高速* | 孔徑 | 3.6 x 4.6 mm² | 1.8 x 2.3 mm² | 微透鏡數(shù) | 32 x 40 | 16 x 20 | 傾斜動(dòng)態(tài)范圍 | > ± 3° (400 λ) | > ± 3° (200 λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 | ± 0.018 m to ± ∞ (350 λ) | ± 0.018 m to ± ∞ (100 λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍- maximum NA | 0.1 | 0.1 | 可重復(fù)性 (rms) | < λ/200 | < λ/200 | 相對(duì)模式下波前測(cè)量精度 (rms)1 | ~ λ/150 | ~ λ/150 | 模式下波前測(cè)量精度(rms)² | ~ λ/100 | ~ λ/100 | 傾斜測(cè)量靈敏度(rms) | 5 μrad | 10 μrad | 聚焦測(cè)量靈敏度 (rms) | 3·10-3m-1 | 6·10-3m-1 | 空間分辨率 | ~ 110 μm | ~ 110 μm | 大采集頻率 | 100 Hz | 160 Hz | 工作波長(zhǎng)范圍 | 350 - 1100 nm | 校準(zhǔn)波長(zhǎng) | in the 400-1100 nm range, details on request3 | 尺寸/重量 | 42x 42 x 42 mm /150g | 工作溫度 | 15 – 30° C | 接口 / 供電電源 | USB 3.0 / 2.7 W via USB | 操作系統(tǒng) | Win XP, Win 7 (x86 / x64) | WaveView metrology software | included | 外部觸發(fā)器 | yes |
4.HASO3 32 
主要特點(diǎn)： •工作波長(zhǎng)范圍在400到1100納米之間 •高分辨率- 1280獨(dú)立測(cè)量點(diǎn) •孔徑尺寸4.9 x 6.1mm2 •相位和強(qiáng)度同時(shí)和獨(dú)立測(cè)量 •真正的測(cè)量 •*的精度和動(dòng)態(tài)范圍 詳細(xì)參數(shù)： 描述 | 規(guī)格 | 孔徑 | 4.9 x 6.1 mm² | 微透鏡數(shù) | 32 x 40 | 傾斜動(dòng)態(tài)范圍 | >±3° (520λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 - 小局部曲率半徑 | 20 mm | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 - maximum NA | > 0.1 | 可重復(fù)性 (rms) | < λ/200 | 相對(duì)模式下波前測(cè)量精度(rms)1 | ~λ/150 | 模式下波前測(cè)量精度(rms)² | ~λ/100 | 傾斜測(cè)量靈敏度 (rms) | 3 µrad | 聚焦測(cè)量靈敏度 (rms) | 1·10-3 m-1 | 空間分辨率 | ~160 µm | 大采集評(píng)頻率 (sequential acquisition) | 50 Hz | 處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM) | 20 Hz | 工作波長(zhǎng)范圍 | 350 - 1100 nm | 校準(zhǔn)波長(zhǎng) | A (400 - 600 nm), B (500 - 700 nm), C (630 - 900 nm), D (800 - 1100 nm) | 擴(kuò)展波長(zhǎng)范圍* | A+ (400 - 700 nm), B+ (500 - 900 nm), C+ (630 - 1100 nm) | 尺寸/ 重量 | 75 x 62 x 68 mm / 510 g | 工作溫度 | 15 - 30° C | 接口 / 供電電源 | FireWire / 12 V / 6 W | 操作系統(tǒng) | Win 7 (x86 / x64) | HASOv3 metrology software | included | 外觸發(fā)器 | yes |
5.HASO3 128 GE2 
主要特點(diǎn)： •工作波長(zhǎng)范圍在400到1100納米之間 •分辨率- 16384獨(dú)立測(cè)量點(diǎn) •大孔徑尺寸14.6 x 14.6mm² •相位和強(qiáng)度同時(shí)和獨(dú)立測(cè)量 •真正的測(cè)量 •*的精度和動(dòng)態(tài)范圍 •溫度穩(wěn)定為*的測(cè)量 詳細(xì)參數(shù)： 描述 | 規(guī)格 | 孔徑 | 14.6 x 14.6 mm² | 微透鏡數(shù) | 128 x 128 | 傾斜動(dòng)態(tài)范圍 | >±3° (1500 λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 - 小局部曲率半徑 | 15 mm | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 - maximum NA | > 0.1 | 可重復(fù)性 (rms) | < λ/200 | 相對(duì)模式下波前測(cè)量精度 (rms)1 | ~λ/150 | 模式下波前測(cè)量精度(rms)² | ~λ/100 | 傾斜測(cè)量靈敏度 (rms) | <1 µrad | 聚焦測(cè)量靈敏度(rms) | 2.5·10-4 m-1 | 空間分辨率 | ~110 µm | 大采集頻率(sequential acquisition) | 7.5 Hz | 處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM) | 5.0 Hz | 工作波長(zhǎng)范圍 | 350 - 1100 nm | 校準(zhǔn)波長(zhǎng)范圍 | A (400 - 600 nm), B (500 - 700 nm), C (630 - 900 nm), D (800 - 1100 nm) | 擴(kuò)展波長(zhǎng)范圍* | A+ (400 - 700 nm), B+ (500 - 900 nm), C+ (630 - 1100 nm) | 尺寸 / 重量 | 115 x 51 x 60 mm / 400 g | 工作溫度 | 15 - 30° C | 接口/ 供電電源 | Giga Ethernet / 12 V / 6 W | 操作系統(tǒng) | Win 7 (x86 / x64) | HASOv3 metrology software | included | 外觸發(fā)器 | yes |
6.HASO HP 16 
主要特點(diǎn)： •λ/ 200 rms的精度 •λ/ 300 rms的相對(duì)精度 •相位和強(qiáng)度同時(shí)和獨(dú)立的測(cè)量 •真正的測(cè)量 •*的精度和動(dòng)態(tài)范圍 •溫度穩(wěn)定為*的測(cè)量 詳細(xì)參數(shù)： 描述 | 規(guī)格 | 孔徑 | 4.7 x 5.8 mm² | 微透鏡數(shù) | 16 x 20 | 傾斜動(dòng)態(tài)范圍 | >±3° (500λ) | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍 - 小局部曲率半徑 | 40 mm | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍- maximum NA | > 0.06 | 可重復(fù)性 (rms) | < λ/400 | 相對(duì)模式下波前測(cè)量精度(rms)1 | ~λ/300 | 模式下波前測(cè)量精度(rms)² | ~ λ/200 | 傾斜測(cè)量靈敏度(rms) | 1 µrad | 聚焦測(cè)量靈敏度 (rms) | 2·10-4 m-1 | 空間分辨率 | ~290 µm | 大采集頻率 (sequential acquisition) | 50 Hz | 處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM) | 30 Hz | 工作波長(zhǎng)范圍 | 350 - 1100 nm | 校準(zhǔn)波長(zhǎng) | 400 - 600 nm, 500 - 700 nm, 630 - 900 nm, 800 - 1100 nm | 擴(kuò)展波長(zhǎng)范圍* | 400 - 700 nm, 500 - 900 nm, 650 - 1100 nm | 尺寸 / 重量 | 75 x 62 x 68 mm / 510 g | 工作溫度 | 15 - 30° C | 接口 / 供電電源 | Fire Wire / 12 V / 6 W | 操作系統(tǒng) | Win 7 (x86 / x64) | HASOv3 metrology software | included | 外觸發(fā)器 | yes |
7.HASO3 FAST 
主要特點(diǎn)： •工作波長(zhǎng)范圍在400到1100nm之間 •速度905 Hz •λ/ 150 rms的相對(duì)精度 •真正的測(cè)量λ/ 100 rms •相位和強(qiáng)度同時(shí)和獨(dú)立的測(cè)量 •*的精度和動(dòng)態(tài)范圍 詳細(xì)參數(shù)： 描述 | 規(guī)格 | 孔徑 | 1.7 x 1.7 mm² | 微透鏡數(shù) | 14 x 14 | 傾斜動(dòng)態(tài)范圍 | >±3° | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍- 小局部曲率半徑 | ± 0.025 m | 聚焦動(dòng)態(tài)范圍- maximum NA | 0.1 | 可重復(fù)性 (rms) | < λ/200 | 相對(duì)模式下波前測(cè)量精度 (rms)1 | ~λ/150 | 模式下波前測(cè)量精度 (rms)² | ~ λ/100 | 傾斜測(cè)量靈敏度 (rms) | 6 µrad | 聚焦測(cè)量靈敏度 (rms) | 5·10-3 m-1 | 空間分辨率 | ~110 µm | 大采集頻率(sequential acquisition) | 905 Hz | 處理頻率(CPU 3Ghz, 512 Mb RAM) | 800 Hz | 工作波長(zhǎng)范圍 | on request | 校準(zhǔn)波長(zhǎng) | on request | 擴(kuò)展波長(zhǎng)范圍* | 400 - 700 nm, 500 - 900 nm, 650 - 1100 nm | 尺寸 / 重量 | 115 x 51 x 60 mm / 400 g | 工作溫度 | 15 - 30° C | 接口 / 供電電源 | Cam Link / 12 V / 6 W | 操作系統(tǒng) | Win 7 (x86 / x64) | HASOv3 metrology software | included | 外觸發(fā)器 | yes |
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