德國(guó)FRT測(cè)量系統(tǒng)應(yīng)用于所有類型的表面測(cè)量分析。納米表面測(cè)量?jī)x采用一個(gè)或多個(gè)傳感器高精密測(cè)量輪廓特征，表面粗糙度，平面度、平行度以及形貌特征和薄膜厚度等。使用光學(xué)白光色差傳感器進(jìn)行非接觸無(wú)損傷測(cè)量，工作距離大，快速輸出2D或3D測(cè)量數(shù)據(jù)。適合研發(fā)和質(zhì)控領(lǐng)域應(yīng)用范圍：半導(dǎo)體晶片加工檢測(cè)；鈉米刻蝕和操作；MEMS；IC封裝；汽車(chē)制造系統(tǒng)；復(fù)合材料分析；生物分析磨擦分析；薄膜厚度測(cè)量，微細(xì)結(jié)構(gòu)分析等。

表面摩擦分析 注塑模型腔分析

納米表面測(cè)量?jī)x使用光學(xué)色差傳感器FRT CWL詳細(xì)介紹如下：

光學(xué)色差傳感器FRT CWL 工作原理和技術(shù)數(shù)據(jù)

光學(xué)色差傳感器（Chromatic sensor FRT CWL）非接觸地測(cè)量零件的表面，具有高分辨率和高測(cè)量精度。傳感器可以測(cè)量所有的表面，與被測(cè)零件的反射能力，粗糙度和顏色無(wú)關(guān)。非常小的測(cè)量斑點(diǎn)保證了很高的幾何位置分辨率。采用不同的測(cè)量頭，能夠達(dá)到納米級(jí)的高分辨率和毫米級(jí)的測(cè)量范圍。測(cè)量是同軸進(jìn)行的，避免了在照明方向和測(cè)量方向不一致時(shí)產(chǎn)生的光暈現(xiàn)象。

測(cè)量的基本原理是，用白光進(jìn)行逐點(diǎn)距離測(cè)量。聚焦白光照射被測(cè)零件表面，傳感器測(cè)量反射光線的波長(zhǎng)分布，由此測(cè)定零件的優(yōu)良高度。由于各種原因產(chǎn)生的光強(qiáng)變化不影響測(cè)量，比如不同的材料，劃痕或表面粗糙度。

色差傳感器的距離測(cè)量與傳統(tǒng)的光學(xué)測(cè)試頭的本質(zhì)區(qū)別是在測(cè)量方向無(wú)移動(dòng)部件，無(wú)磨損測(cè)量。由于跟蹤透鏡的系統(tǒng)擺動(dòng)而產(chǎn)生的誤差被*消除了。

色差傳感器不僅給測(cè)量?jī)x器提供了出色的技術(shù)特性，而且堅(jiān)固結(jié)實(shí)，非常適合復(fù)雜生產(chǎn)環(huán)境的特殊要求。被動(dòng)式的測(cè)試頭通過(guò)光纖與電子單元連接，可以距離傳感器電子系統(tǒng)數(shù)米遠(yuǎn)工作。

FRT CWL 的工作原理是色差距離測(cè)量。白光通過(guò)測(cè)試頭，以不同波長(zhǎng)的焦距聚焦在零件表面。照射在零件表面的光線的光譜，在光譜儀中有一個(gè)峰值，由這個(gè)峰值波長(zhǎng)來(lái)確定零件的高度。利用這個(gè)原理，傳感器能毫無(wú)問(wèn)題地測(cè)量透明的，高反射的，或者黑色的表面。這種測(cè)量非常迅速，而且沒(méi)有邊緣效應(yīng)（艾伯哈*應(yīng)）。

色差傳感器有一個(gè)LC 顯示器實(shí)時(shí)顯示測(cè)量值，通過(guò)功能鍵可以設(shè)置傳感器功能。通過(guò)RS232 接口與系統(tǒng)連接。

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