、儀器名稱及型號：v400E型大尺寸掃描超聲顯微鏡
第二、品牌：德國KSI公司
第三、設(shè)備主要用途：
? 測試被測工件內(nèi)部缺陷，如空洞、分層、裂縫、異物等；
? 掃描圖像模板功能，輕松獲得參數(shù)一致的聲學(xué)顯微圖像；
第四、超聲掃描顯微鏡在失效分析中的優(yōu)勢簡介
? 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)
? 可分層掃描、多層掃描
? 實(shí)施、直觀的圖像及分析
? 缺陷的測量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì)
? 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像
? 對人體是沒有傷害的
? 可檢測各種缺陷（裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等）
第五、產(chǎn)品特色簡單介紹
KSI V400E是一款高產(chǎn)能聲學(xué)顯微鏡，可以對塑封集成電路IC、IGBT大功率模組，各型電容、以及銅基板器件進(jìn)行無損檢測，分析器件內(nèi)部之分層、裂縫、空洞等缺陷。X軸和Y軸均是新型超高速線性伺服電機(jī)，磁懸浮結(jié)構(gòu)，掃描速度快，比常規(guī)機(jī)器要快30%以上同時經(jīng)久耐用。能對器件作多種掃描模式，如點(diǎn)掃描(A-)、縱剖掃描（B-）、橫剖掃描（C-）、多層橫剖掃描(X-）等。
? 掃描范圍大：400mm x 400mm；（常規(guī)機(jī)器一般約是300mm x 300mm）
? 掃描重復(fù)精度高：+/-0.1微米（常規(guī)機(jī)器只能做到0.5微米）
? 采用磁懸浮超高速機(jī)型，掃描速度快：2米/秒(常規(guī)機(jī)器小于1米/秒2)
? 掃描加速度：30米/秒2，KSI一臺機(jī)器相當(dāng)于常規(guī)機(jī)器2臺的工作量
? 的低噪防誤判測量探頭，在高速掃描時可去除水花導(dǎo)致的誤判, 成像更加清楚（常規(guī)機(jī)器沒有）
? 為中國用戶開發(fā)了簡體中文界面
第六、設(shè)備主要參數(shù)
6.1 電子和聲學(xué)顯微系統(tǒng)單元
? 放大倍率：625倍
? 新型FCT換能器頻率范圍 5~400 MHz，所有換能器帶有壓制水花噪聲的降噪設(shè)計(jì)
? 射頻增益：50dB
? 探頭焦距：2mm-50mm 可選
? 模數(shù)轉(zhuǎn)換AD卡：1GHz
? 聲學(xué)信號激發(fā)和接收裝置帶寬：5MHZ-555MHz
? 大圖像采樣像素：32000×32000像素
6.2 機(jī)械掃描單元
? X/Y/Z軸驅(qū)動系統(tǒng)：采用直線磁懸浮電機(jī)
? X軸和Y軸的掃描速度：2米/秒，加速度：30米/平方秒
? 掃描范圍：400mm x 400mm
? X軸和Y軸的精度：+/-0.1微米
? Z軸調(diào)焦行程：100mm
? 工作臺：標(biāo)準(zhǔn)、托盤、真空吸附、定制等可選
? 樣品槽尺寸：580mm x 780mm x 110mm (W x D x H)
6.3 Ksi Vision測試分析軟件單元
? 掃描模式：包含點(diǎn)波形(A-Scan)、縱剖掃描(B-Scan)、橫剖掃描(C-Scan)、斜剖掃描（D-Scan）、等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)、自定義多層橫剖掃描、透射掃描、3D等掃描模式等；
? 軟件可以實(shí)時記錄X軸的加減速曲線；
? 幾何測量功能：能對C掃描圖像進(jìn)行精確X-Y測量，Z方向由時間座標(biāo)顯示；
? 面積測量功能：要求能對分層缺陷面積進(jìn)行測量，并計(jì)算出在任意面積下缺陷所占的面積百分比；
? 二維圖像處理功能:
(a)可對圖像進(jìn)行視頻增強(qiáng)、邊界強(qiáng)化、輪廓凸現(xiàn)、對比度增強(qiáng)、圖像反轉(zhuǎn)等基本圖像處理方式；
(b)圖像著色：能通過灰度、固定色、彩虹色等模式對圖像進(jìn)行著色；
(c)對檢測圖像具有注釋功能；
? 三維超聲CT成像軟件功能：
(a)可對被檢工件作三維超聲CT成像；
(b)可對圖像任意縮放、旋轉(zhuǎn)，還可對三維圖像進(jìn)行切割。
? 系統(tǒng)自我保護(hù)功能：
（a）開機(jī)自檢功能、假如有異常，會報(bào)故障信息提示框；
（b）具有Z軸對焦限位保護(hù)功能，能避免換能器由于誤操作與樣品發(fā)生撞擊；
（c）換能器上同時具有物理保護(hù)角，能防止探頭傳感器部分與樣品直接碰撞。
