用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統(tǒng)的遠程等離子清潔儀。遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會擴散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠程等離子清潔儀可同時清潔真空系統(tǒng)和樣品！
遠程等離子清潔儀
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用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統(tǒng)的遠程等離子清潔儀。遠程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠程離子源提供射頻能量。射頻電磁場能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會擴散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠程等離子清潔儀可同時清潔真空系統(tǒng)和樣品！
遠程等離子清潔儀系列具有三種型號：
1）EM-KLEEN 一款智能設(shè)計、功能強大的下游式等離子清潔儀。
2）SEMI-KLEEN quartz是為滿足半導(dǎo)體行業(yè)的苛刻清潔要求而設(shè)計
的解決方案。
3）SEMI-KLEEN sapphire用于半導(dǎo)體行業(yè)的去污清潔，且支持耐
腐蝕性氣體等離子應(yīng)用。
儀器特點：
• 快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。
不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵
• 低等離子偏壓設(shè)計減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合自有多級
氣體過濾技術(shù)，SEMI-KLEEN能夠滿足用戶的顆粒污染清除要求
• 可選藍寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應(yīng)用
• *的等離子強度傳感器可實時監(jiān)測等離子狀態(tài)，用戶對等離子狀態(tài)一目了然
• 基于壓力傳感回饋控制的自動電子流量控制器，無需手動調(diào)節(jié)針閥
• 直觀的觸摸屏操作，可定義60條清洗程序方案
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• 擁有智能安全操作模式和專家控制模式；SmartScheduleTM定時裝置，通過檢測樣品裝載次數(shù)或時間間隔來定時清潔系統(tǒng)
• 低電磁干擾設(shè)計，安靜的待機模式
*應(yīng)用：
• FE-SEM、FIB和TEM的原位樣品清潔
• 適用于半導(dǎo)體設(shè)備，如CD-SEM, EBR, EBI, EUVL等
• 高真空室清潔，去除碳氫化合物和氟碳污染物
• 減少特高真空(EHV)和特高真空(UHV)泵的停機時間
• 適用于XPS、SIMS、AES和原子探針的腔室和樣品清潔
• 適用于ALD和其它半導(dǎo)體加工設(shè)備的腔室和樣品清潔
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PIE Scientific研發(fā)的SmartClean™ 技術(shù)結(jié)合了核研究
和半導(dǎo)體的等離子體放電技術(shù)。EM-KLEEN
和SEMI-KLEEN等離子清潔儀比前幾代等離子體清潔儀
*得多。我們的等離子清潔儀可以在任何技術(shù)指標上
更勝*；此外，許多*的功能只是在我們的儀器
產(chǎn)品上才擁有。
我們還提供其它系列樣品清潔、樣品桿清潔及存儲等應(yīng)
用的儀器，如您需要，請參考Tergeo系列、
Multipurpose Chamber和TEM holder storage。
