Quorum系列鍍膜儀選型指導(dǎo)(含Plus版本鍍膜儀)：

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Quorum離子濺射鍍膜儀和SEM/TEM應(yīng)用鍍碳儀之選擇指南

Q Plus系列鍍膜儀是英國(guó)Quorum享譽(yù)和市場(chǎng)的系列離子濺射和碳鍍膜儀的版本。它們?cè)絹?lái)越多地用于高分辨率顯微分析技術(shù)中，超精細(xì)鍍膜是該領(lǐng)域必需的制樣工藝。

濺射鍍膜是在掃描電鏡（SEM）觀察之前對(duì)不導(dǎo)電或?qū)щ姴涣紭悠愤M(jìn)行制備的標(biāo)準(zhǔn)方法。Quorum既提供經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵濺射鍍膜儀，用于沉積金（Au）和鉑（Pt）等不氧化貴金屬，也提供渦輪分子泵版本的鍍膜儀，氧化（如：鉻Cr）和不氧化金屬均可沉積。

為了進(jìn)一步改善超精細(xì)鍍膜層，Quorum推出了的Q150V Plus系列鍍膜儀，其極限真空度可達(dá)1 x 10^-6mbar，以便獲得更加的鍍膜效果。

大腔室濺射鍍膜儀可用于直徑達(dá)200 mm的大樣品鍍膜。大多數(shù)Quorum鍍膜儀也可通過(guò)選用易互換的碳棒或碳繩鍍膜頭配置為碳蒸發(fā)鍍膜儀。

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電鏡和薄膜應(yīng)用的鍍膜儀快速概覽

Q150V Plus系列3個(gè)型號(hào)鍍膜儀適用于高真空應(yīng)用。這一新產(chǎn)品為用戶提供了為超高分辨率應(yīng)用（放大倍率超過(guò)x 200k）制作更細(xì)成膜顆粒和更薄膜層的能力。

Q150T Plus系列3個(gè)型號(hào)鍍膜儀適用于掃描電鏡、透射電鏡和許多薄膜應(yīng)用。

旋轉(zhuǎn)機(jī)械泵抽真空的Q150R Plus系列3個(gè)型號(hào)鍍膜儀適用于使用不氧化貴金屬鍍膜的鎢燈絲掃描電鏡及部分場(chǎng)發(fā)射電鏡的應(yīng)用，以及用于為EDS和WDS分析制備碳膜的SEM樣品。

對(duì)于較大的樣品，可選用Q300T T Plus渦輪分子泵高真空鍍膜儀，允許在8”/200 mm以下的單個(gè)大樣品（例如晶圓）或類(lèi)似直徑范圍內(nèi)放置多個(gè)較小樣品進(jìn)行鍍膜。三個(gè)濺射頭配裝相同的靶材，以確保均勻的大面積沉積鍍膜。

對(duì)于薄膜應(yīng)用，Q300T D Plus雙靶順序?yàn)R射鍍膜儀是一個(gè)很好的選擇，它允許連續(xù)濺射不同靶材鍍制2層或多層金屬膜，且期間無(wú)需破真空。

Q150GB是Q150T ES Plus鍍膜儀的模塊化版本，目的是集成到手套箱中。

SC7620是一款結(jié)構(gòu)緊湊的經(jīng)濟(jì)型掃描電鏡離子濺射鍍膜儀，可選碳繩蒸發(fā)附件。

臺(tái)式真空熱蒸發(fā)鍍膜儀

高真空條件下熱蒸發(fā)鍍膜是一種沉積鍍制金屬和碳薄膜的常用方法，其典型應(yīng)用包括透射電鏡（TEM）和許多薄膜研究所需的碳支撐膜和復(fù)形膜的制作。K975X渦輪泵熱蒸發(fā)鍍膜儀是一個(gè)大腔室系統(tǒng)，標(biāo)配碳棒槍和金屬絲/舟蒸發(fā)源。

作為成功的Q系列濺射/碳鍍膜儀家族的一員，Q300T ES Plus是一個(gè)大腔室渦輪分子泵抽真空的鍍膜系統(tǒng)，非常適合在大直徑樣品或多個(gè)較小試樣上進(jìn)行金屬蒸發(fā)鍍膜，Q300T ES Plus還配備了可互換的濺射頭和碳蒸發(fā)頭。