全自動探針臺SemiProbe采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，卡盤支架，卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺以其*的靈活性和性價比滿足了多種應(yīng)用需求，為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案。更重要的是，PS4L可隨著測試環(huán)境和測試條件的改變進(jìn)行現(xiàn)場升級以滿足新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L 也無需重新更換新的平臺，便可用短的時效和少的費(fèi)用完成測試。

Semiprobe全自動探針臺-量產(chǎn)型全自動探針臺-全自動探針臺 產(chǎn)品描述：

Semiprobe全自動探針臺-量產(chǎn)型全自動探針臺-全自動探針臺 采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用。與傳統(tǒng)的探針臺相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，卡盤支架，卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺以其*的靈活性和性價比滿足了多種應(yīng)用需求，為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案。更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以使探針臺在一個基本平臺的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級?？筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級，由手動探針臺升級為半自動探針臺，半自動探針臺升級為全自動探針臺，或者6”升級為8”，8”升級為12”，增加密閉測試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸，自動化的程度或者測試要求發(fā)生改變時，PS4L 也無需重新更換新的平臺，便可用短的時效和少的費(fèi)用完成測試。

Semiprobe全自動探針臺-量產(chǎn)型全自動探針臺-全自動探針臺 PILOT控制軟件：

SemiProbe的全自動探針系統(tǒng)使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進(jìn)行操作，軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)。PILOT 軟件包是一款模塊化、直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上，客戶可增添控制模塊來增加額外功能和附件。其一般的功能比如2點(diǎn)校準(zhǔn)，功能強(qiáng)大且易操作——甚至不經(jīng)常操作設(shè)備的用戶也非常容易上手。

技術(shù)參數(shù)（型號：PS4L FA-6）：

• 產(chǎn)品尺寸：900 mm x 1625 mm x 2438 mm
• 重量：240Kg
• 輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空：23 Hg or -0.8 bar
• 卡盤X-Y軸軌道： NEMA 17步進(jìn)電機(jī)，光學(xué)線性編碼器
• 行程:155*155mm（可升級）
• 速度：50mm/s(大)
• 平面性:±8μm
• 分辨率:0.1μm
• 精度：±3μm
• 重復(fù)性：±0.5μm
• 卡盤Z軸軌道：行程：15mm
• 分辨率：0.5μm
• 重復(fù)性：±1.5μm
• θ移動：行程：±4°（可定制）
• 分辨率:0.00001°
• 卡盤類型：真空或機(jī)械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等
• 壓盤：鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔
• 360度機(jī)械手放置
• 壓盤位移：可選擇固定和線性調(diào)節(jié)
• 線性調(diào)節(jié)范圍：40mm粗調(diào)，200um微調(diào)

可選配件：

包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺，暗箱。