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STM-2 USB 薄膜速率/厚度監(jiān)測儀

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功能

  • 低成本儀器
  • USB 連接
  • 內(nèi)部振蕩器
  • 每秒 10 次測量時的高精度
  • 兼容外部振蕩器
  • 附帶軟件

規(guī)格

類型 STM-2
傳感器輸入 One
兼容傳感器 Non-shuttered single QCM sensor
傳感器輸入 Female BNC
測量頻率范圍 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
頻率分辨率 ±0.03 Hz at 6 MHz
測量間隔 0.10 s
參考頻率穩(wěn)定性 ±2 ppm
厚度和速率分辨率/測量 ±0.037 ? @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
厚度顯示分辨率 1 ? (display on software only)
接口 USB v1.1 or later capable of providing 400 mA, 5 V (dc)
尺寸 11.4 x 7.5 x 2.5 cm (4.5 x 3 x 1 in.)
重量 57 g (2 oz.)
計算機要求 Any PC running Windows 2000, XP, Vista, 7, or 8 with one available USB 1.1 (or later) port for each STM-2

零件號

STM-2
零件號 明細
STM-2 STM-2 USB 薄膜速率/厚度監(jiān)測儀

附件

名稱 說明
前裝式單傳感器
炫酷抽屜單傳感器
UHV 可烘烤傳感器
ALD 傳感器
濺射傳感器
Easy Rate Single Sensor

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體

手冊

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