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Transpector MPS 殘余氣體分析儀

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  • 概述
  • 規(guī)格
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功能

  • 雙絲極
  • 可現(xiàn)場(chǎng)更換電子倍增器
  • 現(xiàn)場(chǎng)可更換的陽(yáng)極、陰極和反射極絲組件
  • 可調(diào)換傳感器和電子元件
  • TCP/IP 以太網(wǎng)連接
  • 較短的傳感器可降低安裝占地面積
  • 九個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)量程
  • 大模擬掃描和選定峰值的數(shù)據(jù)速率為每點(diǎn) 3 ms
  • <1.5e-14 torr="" 的="">
  • 傳感器在潔凈室環(huán)境中裝配、測(cè)試并進(jìn)行雙層包裝
  • 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

規(guī)格

類型 MPS100F MPS100M MPS200F MPS200M
傳感器長(zhǎng)度 14.3 cm 19.3 cm 14.3 cm 19.3 cm
質(zhì)量范圍 100 amu 100 amu 200 amu 200 amu
檢測(cè)器類型 FC EM FC EM
靈敏度 (FC) 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr 3E-4 amps/Torr
靈敏度 (EM) NA 500 amps/Torr NA 500 amps/Torr
小可檢測(cè)分壓 (3) 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr 2.6E-12 Torr 1.5E-14 Torr
傳感器工作溫度(FC) 200 °C NA 200 °C NA
傳感器工作溫度(EM) NA 150 °C NA 150 °C
絲極類型選件 Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments Dual Y2O3/Ir filaments
分辨率 (1) <1 amu=""> <1 amu=""> <1 amu=""> <1 amu="">
溫度系數(shù) (2) <1% per=""> <1% per=""> <1% per=""> <1% per="">
每點(diǎn)數(shù)據(jù)率 3 ms 3 ms 3 ms 3 ms
零沖擊（@ 質(zhì)量 2） <100> <100> <100> <100>
大工作壓力 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr 5E-4 Torr
烘烤溫度 300 °C 300 °C 300 °C 300 °C
功率輸入 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC 20-30 VDC

(1) 在峰高的 10％ 處

(2) 在八小時(shí)內(nèi)，預(yù)熱時(shí)間為半小時(shí)；僅在FC模式下

(3) 256 毫秒停留時(shí)間

手冊(cè)

  • Brochure - Transpector MPH & Transpector MPS Combined.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

其他文件

  • STC Product Line Card 2014.pdf |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|


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