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Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀

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好處

  • 從高真空到 PVD 流程壓強(qiáng)條件下,能夠高靈敏度地檢測空氣泄漏和污染,實(shí)時保護(hù)晶圓和面板
  • 大化 PM 效率和工具正常使用時間,具有快速可靠的腔室條件
  • 通過延長使用壽命、防污染、雙離子源設(shè)計小化總體擁有成本;無需泵,即可監(jiān)測高達(dá) 20 mTorr 的壓強(qiáng)。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇
  • 通過強(qiáng)大數(shù)據(jù)采集與同步實(shí)現(xiàn)無縫工廠集成和可靠阻斷
  • 通過定制配方優(yōu)化增強(qiáng)*生產(chǎn)能力
  • 通過即時現(xiàn)場專家響應(yīng)保護(hù)關(guān)鍵過程需求

典型應(yīng)用

  • PVD 和濺射過程模塊
  • 預(yù)清洗模塊
  • 非群集 PVD 工具
  • 夾鉗式除氣模塊

規(guī)格

類型 1-100 amu
分辨率1 <1 @="" 10%="" measured="" at="" mass="" 4,="" 20,="" 28="" and="">
檢測器類型 Off-axis FC and microchannel plate EM
溫度系數(shù)2 <1% of="" peak="" height="" per="">
質(zhì)量位置穩(wěn)定性3 <0.1 amu="" over="" 24="">
峰比率穩(wěn)定性? <2% over="" 24="">
靈敏度(FC 模式)? ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)
靈敏度(標(biāo)稱)? ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)
小可檢測分壓?(FC 模式)? ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)
小可檢測分壓?(EM 模式)? ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)
大工作壓力(FC 或 EM 模式) 20 mTorr (2.6E-2 mbar)
大工作壓力(線性操作) 10 mTorr (1.3E-2 mbar)
大傳感器工作溫度 150°C
大烘烤溫度? 200°C
檢測限值? 10 ppm
環(huán)境工作溫度 5 – 50°C
功率輸入 20 – 30 V (dc), 30W max
以太網(wǎng)通信接口 Standard: CAT5e Ethernet cable connection
標(biāo)準(zhǔn) I/O One analog input, two digital inputs, one relay, 24 V at 0.5 A
擴(kuò)展 I/O(可選) Four analog inputs, four analog outputs, four relays, 24 V at 0.5 A, 12 digital inputs or outputs
1根據(jù) 1993 AVS 建議做法
2
Ar 處于 1E-4 Torr 下的 FC 信號
3
恒定 STP 時 Ar 處于 1E-4 Torr 下的 FC 信號
4
質(zhì)量峰比率 2/40、4/40、20/40、28/40
5
處于 40 eV/200 μA 時
6
通過標(biāo)準(zhǔn)噪聲偏差除以在 4 秒保壓時間時所測傳感器的靈敏度計算出的 MDPP。

7
拆除電子元件后
8
處于 1 – 5 mTorr 流程壓強(qiáng)時
9
為確保 24 小時質(zhì)量位置穩(wěn)定性而激活的峰值鎖定。

手冊

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