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技術(shù)參數(shù):
1、能量密度:>20J/cm2-30J/cm2;
2、脈沖能量穩(wěn)定性:< 2 %RSD-< 1%RSD;
3、內(nèi)部能量計(jì):是(閉環(huán)反饋);
4、激光波長:196nm;
5、激光安全:符合 FDA / CDRH 21 CFR,I類激光系統(tǒng),激光*聯(lián)鎖,*封閉光束路徑。

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