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EMS150膜厚監(jiān)控儀(FilmThicknessMonitor)

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公司名稱 海德創(chuàng)業(yè)（北京）生物科技有限公司
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更新時(shí)間 2021/2/23 16:15:28
訪問次數(shù) 341

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

產(chǎn)品簡介

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EMS 150膜厚監(jiān)控儀(Film Thickness Monitor)

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石英晶體是離子型的晶體，由于結(jié)晶點(diǎn)陣的有規(guī)則分布，當(dāng)發(fā)生拉伸或壓縮時(shí)能產(chǎn)生電極化現(xiàn)象，稱為壓電現(xiàn)象。石英晶體壓電效應(yīng)的固有頻率不僅取決于其幾何尺寸，切割類型，而且還取決于芯片的厚度。當(dāng)芯片上鍍了某種膜層，使芯片的厚度增大，則芯片的固有頻率會相應(yīng)的衰減。膜厚監(jiān)控儀就是通過測量頻率或與頻率有關(guān)的參量的變化而監(jiān)控淀積薄膜的厚度。

膜厚監(jiān)控儀(FTM)是如何工作的呢？鍍膜時(shí)，膜厚監(jiān)控儀里面的晶振片的高速振動，測試每秒鐘振動次數(shù)的改變，從所接受的數(shù)據(jù)中計(jì)算膜層的厚度。

儀器參數(shù)：

儀器尺寸	300mm (W) x 150mm (D) x 75mm (H)
重量	6Kg
可配套儀器	EMS 450, EMS 550, EMS 575, EMS 650, EMS 675, EMS 950, and the EMS 975
晶片座	置晶片裝置
密度范圍	1.55 to 23.0g/cm-3
測控范圍	5 to 999nm
鍍碳時(shí)精度	0.8nm
鍍金時(shí)精度	0.1nm
電源	230V 50 Hz (3 Amp Max)

訂購信息;

貨號	產(chǎn)品名稱	規(guī)格
91006	EMS 150 Film Thickness Monitor complete with terminate unit including crystal holder and fitted crystal. Standalone.	臺
91006-M	EMS 150 Film Thickness Monitor Built-in Module	臺
91008	Spare Crystals	盒
91009	Spare Glass Cylinder	個(gè)