透射電鏡校準標樣MAG*I*CAL

這是一個世界上微的尺子！已經(jīng)申請世界吉尼斯紀錄！這個*的校準標樣直接溯源于硅晶體的晶格常數(shù)，它能用來對所有透射電鏡進行三項專業(yè)的標定和校正：

l  放大倍率（全范圍）

l  相機常數(shù)

l  像與衍射花樣之間的磁轉(zhuǎn)角

放大倍率校準是電鏡中的校準，因為確定電鏡本身顯示的或圖像上的放大倍率數(shù)值是否準確，以及如果不準該如何修正，這是很重要的工作。有了*的MAG*I*CAL校準標樣，你就可以在大約1000x至1,000,000x全范圍內(nèi)對一臺透射電鏡的放大倍率進行校準。由于樣品本身是一個單晶體，它也能用來對相機常數(shù)以及像/衍射花樣的磁轉(zhuǎn)角進行校準。盡管MAG*I*CAL校準標樣是為TEM在材料科學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用而研發(fā)的，但在生命科學(xué)領(lǐng)域也同樣有用。

MAG*I*CAL校準的參考標準是一個離子減薄過的硅基半導(dǎo)體多層截面TEM樣品。它含有4組由5層10nm厚SiGe合金層和13nm厚純硅層相間隔組成的結(jié)構(gòu)。分子束外延（MBE）法生長的高質(zhì)量外延層作為單晶硅001襯底上的應(yīng)變層。這樣的4組交替相間的結(jié)構(gòu)層（超晶格）為TEM成像提供明暗對比，并且是以硅111面晶格間距作為單晶硅襯底上的測量依據(jù)通過高分辨透射電鏡（HREM）直接校準的，標樣上的校準標記直接引用一個自然常數(shù)，即硅的晶格常數(shù)，這樣MAG*I*CAL就可完整追溯到一個自然的基本常數(shù)。

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