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基于設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的計(jì)量系統(tǒng)

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更新時(shí)間 2021/2/26 21:21:05
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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

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「RecipeDirector」特點(diǎn)

提高生產(chǎn)性以及測(cè)量程式質(zhì)量

可不使用晶片及測(cè)長(zhǎng)SEM，離線作成測(cè)量程式
可僅通過(guò)制定計(jì)測(cè)點(diǎn)及測(cè)長(zhǎng)方法，自動(dòng)作成測(cè)量程式
可不依賴于操作者的技術(shù)，作成統(tǒng)一質(zhì)量的測(cè)量程式
采用服務(wù)器&客戶端方式

利用設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)自動(dòng)作成測(cè)長(zhǎng)SEM測(cè)量程式

「DesignGauge-Analyzer」特點(diǎn)

對(duì)CG5000中取得的SEM圖像進(jìn)行再次測(cè)長(zhǎng)
具備可通過(guò)SEM圖像查閱及表格形式進(jìn)行測(cè)長(zhǎng)結(jié)果確認(rèn)等數(shù)據(jù)分析功能
使用測(cè)長(zhǎng)算法的Contour（模型形狀的輪廓線）提取功能（Contour：可選功能）

光刻工藝的OPC評(píng)價(jià)，模型測(cè)量的化的支持

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高分辨率FEB測(cè)長(zhǎng)儀器 CG5000 (HITACHI CD-SEM)

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