牛津儀器 Jupiter XR 原子力顯微鏡簡介

牛津儀器 Jupiter XR 原子力顯微鏡是一款適合大尺寸品的原子力顯微鏡。通過它，用戶可以實現(xiàn)在一臺掃描器上進行高速成像和大范圍掃描。Jupiter原子力顯微鏡可用于200mm晶圓樣品的掃描，提供更高的分辨率、更快的測量速度、更簡便的用戶體驗，并且在學(xué)術(shù)研究和工業(yè)研發(fā)領(lǐng)域都具有出色的通用性。

• 與同類大樣品原子力顯微鏡相比，具有更高的分辨率

• 掃描范圍可達100 μm，其速度比大多數(shù)原子力顯微鏡快5-20倍

• 從設(shè)置到獲得結(jié)果，每一步都更簡便、更快速

• 模塊式設(shè)計更具靈活性，可以滿足多種需求

Jupiter是Asylum開發(fā)的新一代大樣品原子力顯微鏡系列，該系列支持210mm直徑的晶圓樣品掃描。

• Jupiter XR - 是一種適合大樣品的原子力顯微鏡，它的優(yōu)勢在于：高分辨率和快測量速度、使用方便，且具有很高的靈活性。

特點和優(yōu)勢

更*的性能

• 優(yōu)于其他任何大樣品臺AFM的高分辨率

• 加大掃描范圍的掃描器（X-Y軸 100μm，Z軸12μm）可以達到大部分AFM掃描速度的5-20倍

• 的blueDriveTM輕敲模式簡化操作流程的同時顯著增強測量結(jié)果的可重復(fù)性

更簡單的用戶體驗

• 自動化的激光和檢測器設(shè)置取代了復(fù)雜的手動調(diào)節(jié)旋鈕
• 可以快速精準的定位到200 mm的樣品上任意位置
• 高分辨率的光學(xué)系統(tǒng)可以使用戶輕松定位到待測區(qū)域
• 使用一個掃描器可以實現(xiàn)任何成像模式，無論是原子級成像還是大范圍100μm掃描都無需更換掃描器

可以滿足多種研究需求的多功能性

• 支持各種成像模式

• 模塊化設(shè)計，可以輕松地添加附件和以后的系統(tǒng)升級

• 靈活的軟件既可以程序化測量步驟也可以應(yīng)對高級的研究需求

超越您預(yù)期的售后支持

• 包含一年的質(zhì)保

• 的技術(shù)支持及基礎(chǔ)應(yīng)用支持

• 高性價比的延保服務(wù)及高級培訓(xùn)課程

操作模式

包含的操作模式

接觸模式

雙頻追蹤壓電力顯微鏡

高次諧波成像模式

雙頻激發(fā)頻率追蹤模式（DART）

靜電力顯微鏡（EFM）

力曲線

力陣列模式（force volume）

力調(diào)制模式

頻率調(diào)制模式

掃描開爾文探針顯微鏡（KPFM）

側(cè)向力模式（LFM）

損耗因子成像模式

磁力顯微鏡（MFM）

納米刻蝕

納米操縱

壓電力顯微鏡（PFM）

極化翻轉(zhuǎn)譜

輕敲模式（AC Mode）

可調(diào)節(jié)品質(zhì)因子輕敲模式

矢量壓電力顯微鏡

可選的操作模式

導(dǎo)電原子力顯微鏡（CAFM）包含ORCATM和EclipseTM暗場模式

快速力曲線導(dǎo)電模式

電化學(xué)應(yīng)變顯微鏡（ESM）

快速力曲線模式

高壓壓電力顯微鏡

時間分辨介電擊穿測試（nanoTDDB）