激光干涉儀主要用途是測量目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)，即目標(biāo)的線性位移大小、直線度、垂直度、旋轉(zhuǎn)角度（滾轉(zhuǎn)、俯仰和偏擺）、兩個(gè)目標(biāo)在運(yùn)動(dòng)的平行性（度）、平面度等。不管是數(shù)控機(jī)床的導(dǎo)軌還是光刻機(jī)的機(jī)臺，不管是飛行物還是京植物的變形、熱膨脹，都要用到高精度激光干涉儀的測量，得到目標(biāo)的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)。如精密機(jī)械設(shè)備、各類機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)、機(jī)器人、線性位移平臺、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量。
中圖儀器
sj6000激光干涉儀器的主要的應(yīng)用之一就是機(jī)床精度檢測?？梢酝ㄟ^與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動(dòng)態(tài)參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機(jī)床精度檢測，它可以棄普通車間進(jìn)行應(yīng)用，具有更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)能力，同時(shí)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動(dòng)幅度及速度等。
SJ6000激光干涉儀搭配不同的鏡組還可以實(shí)現(xiàn)機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、直線度、平行度、垂直度、偏擺角度等幾何精度測量。
應(yīng)用：檢測五軸機(jī)床旋轉(zhuǎn)軸精度
測量系統(tǒng)：激光頭+角度干涉鏡+角度反射鏡
旋轉(zhuǎn)軸的角度反射鏡是安裝在轉(zhuǎn)臺組件上，該組件可以繞中心自身旋轉(zhuǎn)。在測量時(shí)，待測的旋轉(zhuǎn)軸向正方向旋轉(zhuǎn)某一個(gè)角度后，轉(zhuǎn)臺組件會(huì)沿著其逆方向精確地旋轉(zhuǎn)該角度，例如待測軸沿正方向旋轉(zhuǎn)15°，由于誤差的存在，則可能旋轉(zhuǎn)（15+ Δ）°；此時(shí)，轉(zhuǎn)臺組件會(huì)沿著逆方向精確旋轉(zhuǎn)，即沿負(fù)方向精確旋轉(zhuǎn) 15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對著激光頭。而誤差 Δ就是旋轉(zhuǎn)軸的定位誤差。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體：
采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；
采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；
采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；
采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干rao能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；
采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>
SJ6000
sj6000激光干涉儀器以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，是高精度、高靈敏度測量儀器，廣泛應(yīng)用于機(jī)床、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器、三坐標(biāo)、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺等領(lǐng)域的線性測量。
