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國產激光干涉儀器

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sj6000國產激光干涉儀器測量分辨率0.01″,系統(tǒng)測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。

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雙頻高頻激光干涉儀,機床精密檢測工具示例圖1


以激光干涉技術為核心,sj6000國產激光干涉儀器機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,并且干涉鏡與主機分離設計,避免了干涉鏡受熱影響,保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。


技術參數(shù)

產品型號:SJ6000

產品名稱:SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式:雙頻激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度:0.05ppm

線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃

線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)

角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力:1nm

動態(tài)采集頻率:50KHz

預熱時間:≤6分鐘

工作溫度范圍:(0-40)℃

環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%

主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產品信息,請聯(lián)系我們獲取


產品特點

1)測量精度高

2)檢測功能多

3)可設定補償方式,自動生成報表

4)具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能

5)內置多種機床檢驗標準

6)可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償

7)安裝方便:基本重量為15kg,簡單便攜。


結合不同的光學鏡組,sj6000激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下,還可以實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。


雙頻高頻激光干涉儀,機床精密檢測工具示例圖2

雙頻高頻激光干涉儀,機床精密檢測工具示例圖3

雙頻高頻激光干涉儀,機床精密檢測工具示例圖4

雙頻高頻激光干涉儀,機床精密檢測工具示例圖5



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