實(shí)驗(yàn)室小型磁控大功率濺射儀
KT-Z1650PVD是一款小型臺式濺射功率可控磁控濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn)，樣品高度調(diào)節(jié)，及電動(dòng)擋板功能。通過定時(shí)調(diào)節(jié)預(yù)濺射功率及薄膜沉積功率，可對大部分金屬進(jìn)行均勻物理沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜。

小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD

實(shí)驗(yàn)室小型磁控大功率濺射儀 

離子濺射儀功能：

一個(gè)更加廣泛的選擇由于全自動(dòng)直流離子濺射儀在制樣過程中被提供給了掃描電鏡用戶，從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及人機(jī)界面方面簡單智能，對人性更加的注重。一個(gè)低成本的解決方案由于離子濺射儀對SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射被提供了，與此同時(shí)能夠利用對金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來使得更細(xì)顆粒的涂層達(dá)到。與此同時(shí)，利用智能的人機(jī)界面對儀器的控制更加的方便、簡單以及準(zhǔn)確，與此同時(shí)，能夠?qū)﹀儗雍穸冗M(jìn)行估算，對真空實(shí)時(shí)顯，濺射電流對濺射時(shí)間進(jìn)行設(shè)定，對靶材的剩余情況進(jìn)行計(jì)算。

實(shí)驗(yàn)室小型磁控大功率濺射儀 

離子濺射儀在掃描電鏡（SEM）的樣品噴金方便為專用的儀器，樣品的導(dǎo)電性及導(dǎo)熱性可以非常有效的提供，使恒沉積速率得到確保，使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少，使掃描電鏡觀測結(jié)果得到了較為顯著的提高。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

? 彩色觸摸屏：數(shù)據(jù)輸入簡單快速

    ? 通過觸摸屏中直觀檢測數(shù)據(jù)和曲線；歷史頁面可顯示歷史涂層信息。

    ? 可控鍍膜速率，可得到更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)

    ? 可手動(dòng)或自動(dòng)，根據(jù)時(shí)間或根據(jù)厚度進(jìn)行濺射

? 樣品臺更換簡單：標(biāo)準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)樣品臺或選用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺高度可調(diào)、可傾斜、可旋轉(zhuǎn)；行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。