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AU640 MX80-F MX61L olympus奧林巴斯光譜儀

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現(xiàn)貨銷售///高價回收olympus奧林巴斯AU640 MX80-F MX61L光譜儀

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能對應(yīng)300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號（反射透射兼用）

應(yīng)對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調(diào)節(jié)連動的亮度光圈等，實現(xiàn)了舒適的檢查環(huán)境。配備14×12英寸載物臺，能應(yīng)對大型樣本。

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡MX61L
 

觀察影像實例


晶圓（明視場觀察）晶圓（暗視場觀察）


晶圓（微分干涉觀察）彩色濾色片（透射觀察）

半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61L 規(guī)格

光學(xué)系統(tǒng)

UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠校正）

機身

觀察方法

明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光

反射/透射

反射/透射

照明裝置

機身一體型（明視場，暗視場＋1選件）

照明系統(tǒng)

反射照明

100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙

透射照明

纖維光導(dǎo)

對焦單元

電動/手動

手動

行程

32 mm

分辨率/微調(diào)靈敏度

微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動1周移動0.1 mm

zui大樣本高度

30 mm

物鏡轉(zhuǎn)換器

電動型

明視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉5孔
明暗視場微分干涉6孔
明暗視場微分干涉中心輸出5孔

手動式

-

載物臺

行程

14×12 英寸右下手柄：356（X）×305（Y）mm（透射照明范圍356×284 mm）

觀察筒

廣角視場（視場數(shù)22）

倒置

雙目/三目觀察筒

正像

三目觀察筒

超寬視場（視場數(shù)26.5）

倒置

三目觀察筒

正像

傾斜三目觀察筒

附件單元

DUV單元/IR單元/電動載物臺/自動裝載

外形尺寸

710（W）×843（D）×507（H）mm（標準組合）

重量

51 kg（標準組合）

 


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