產(chǎn)品型號

TFMS-IV系列緊湊型高精度反射膜厚儀

主要特點(diǎn)

1、光學(xué)薄膜測量解決方案

2、非接觸、非破壞測量

3、覆蓋單層到多層薄膜

4、核心算法覆蓋薄膜到厚膜

5、配置靈活、支持定制化

6、采用高強(qiáng)度鹵素?zé)艄庠?，光譜覆蓋可見光到近紅外范圍

7、采用光機(jī)電高度整合一體化設(shè)計(jì)，體積小，操作簡便

8、基于薄膜層上界面與下界面的反射光相干涉原理，輕松解析單層薄膜到多層

9、配置強(qiáng)大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲線擬合分析法分析薄膜的物理參數(shù)信息

技術(shù)參數(shù)

型號

TFMS-IV

TFMS-IV（可選）

基本功能

獲取薄膜厚度值以及R、N/K（可選）等光譜

光譜波長范圍

380-800nm

650-1100nm（可選）

測量厚度范圍

50nm-20um

100nm-200um（可選）

測量時(shí)間

<1s

光斑尺寸

0.5-3mm

重復(fù)精度

0.1nm（100nmSiO₂/Si）

精度

±1nm or 0.5%

入射角方式

垂直入射

可選配件

1

溫控臺

2

Mapping擴(kuò)展模塊

3

真空泵