一、功能介紹：

適用于半導體材料企業(yè)、科研、高等校及實驗室分析半導體材料縱向電阻率；可測量橫截面積均勻的圓形、方形或矩形硅單晶的電阻率，試樣長度與截面尺寸之比應不小于3:1；配置測量平臺，正反向電流測量模式；液晶顯示，并帶有溫度補償功能，電阻率單位自動選擇，可選購PC軟件實時數據和報表管理；提供中文或英文兩種語言操作界面選擇.

二.參照標準：

FT-300TZ兩探針電阻率測試儀

GB/T 1551-2009 硅單晶電阻率測定方法-方法2直流兩探針法；

SEMI MF 397-1106<<硅棒電阻率測定兩探針法>>

三、參數 資料

1.電阻率：10^-7～2×10^7Ω-cm
2.電 阻：10^-7～2×10^7Ω

3.電導率：5×10^-7～10^7s/cm

4.分辨率： 0.1μΩ 測量誤差±（0.05%讀數±5字）

5.測量電壓量程： 2mV 20mV 200mV 2V 測量精度±（0.1%讀數）

6.分辨率： 0.1uV 1uV 10uV 100uV

7.電流輸出：直流電流 0～1000mA 連續(xù)可調，
量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，1000mA, 誤差：±0.2%讀數±2字

8.顯示方式：液晶顯示：電阻值、電阻率、電導率值、溫度、單位自動換算、橫截面、高度、電流、電壓等.

9.溫度要求：23℃±1℃

10.電源：220±10% 50HZ/60HZ

11. 測量平臺參數如下：

1）.可測硅芯、檢驗棒尺寸：直徑4~22㎜ （其他規(guī)格可定制）

2）.探針頭探針與試樣接觸位置重復，無橫向移動。

3）.兩探針測試探針。探頭間距1.59mm（其他規(guī)格可定制）；探針機械游率：±0.3%。

4）.探針直徑0.8㎜；探針壓力6-12N，探針材料：鎢針，

5）.探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于10⁹歐

12.標配外選購項：a.pc軟件1套；b.標準電阻1件；c.電腦和打印機

FT-300TZ兩探針電阻率測試儀