光學(xué)3D表面輪廓儀顯微鏡采用的位移矯正和邊緣識別，邊緣修正技術(shù)，可以消除圖像邊緣鋸齒狀。是低倍（光學(xué)lt;2000X.視頻lt;10000x）情況下電鏡的理想替代。遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出常規(guī)平面檢測（包括電鏡）的范圍。將光學(xué)顯微鏡的使用提升到新的高度。是顯微技術(shù)的發(fā)展。

光學(xué)3D表面輪廓儀顯微鏡系統(tǒng)輕松解決以上不足，突破顯微鏡的光學(xué) 固有限制。可以在10秒之內(nèi)得到樣品的三維立體圖像?？梢暂p松的對樣品不同高度進(jìn)行優(yōu)質(zhì)成 像，得到平面優(yōu)質(zhì)圖片，繼而構(gòu)建3D模型，并通過智能測量模式，準(zhǔn)確測量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質(zhì)平面圖像/3D圖像的同時，本系統(tǒng)還提供共焦點(diǎn)云的全自由度模型三維觀察使得用戶能夠從任意角度觀察樣品，系統(tǒng)通過一體化的設(shè)計，可以實(shí)現(xiàn)高速自動顯微鏡3D觀察、測量。

光學(xué)3D表面輪廓儀顯微鏡技術(shù)要求

光源是數(shù)碼成像的基礎(chǔ)之一，正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)的必需條件，系統(tǒng)所采用的照明裝置，均為機(jī)器視覺系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實(shí)，形態(tài)多樣，長壽命（大于3萬小時），根據(jù)不同用途，有多種結(jié)構(gòu)設(shè)計，能組建復(fù)式照明技術(shù)，配合數(shù)字消光技術(shù)（HDR)，能展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)。

高精度壓電位移平臺實(shí)現(xiàn)納米級運(yùn)動：

全新的壓電位移平臺可實(shí)現(xiàn)納米級高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級快響應(yīng)速度、簡便的控制方式、通過超薄的設(shè)計，減輕了整體重量，在運(yùn)動中具有準(zhǔn)確性，與光譜共焦技術(shù)實(shí)現(xiàn)結(jié)合，可實(shí)行大范圍精準(zhǔn)掃描，得到計量級結(jié)果

光譜共焦技術(shù)具有泛的材質(zhì)適應(yīng)性、穩(wěn)定性、檢測效率：

基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測量適應(yīng)性，除常規(guī)材料之外，即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料，透明膠水層、薄膜材料均能實(shí)現(xiàn)有效的測量，其Z向分辨率可達(dá)到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺，能對樣品實(shí)現(xiàn)大面積準(zhǔn)確輪廓測量。得到的輪廓模型更可與光學(xué)景深圖像融合，最終得到計量級的彩色3D模型。

技術(shù)參數(shù)