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X射線分辨率測(cè)試卡/評(píng)估模體

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X射線分辨率測(cè)試卡是測(cè)量成像系統(tǒng)成像質(zhì)量的重要工具,我司可提供各種類型的測(cè)試卡以滿足您的各種需求。圖案類型包括線對(duì)、孔陣列和西門(mén)子星等。最小圖案尺寸低至20nm,面對(duì)高能的高分辨X射線應(yīng)用,我們可以提供厚達(dá)3微米的金吸收體,以滿足高能高分辨成像系統(tǒng)的測(cè)試需求。


同時(shí)我們還可以提供用:

于納米CT體素校準(zhǔn)的模體- Voxel-spirit 可實(shí)現(xiàn)快速和直觀的體素大小校準(zhǔn),Voxel-spirit 甚至可以滿足嚴(yán)格的視場(chǎng) (FOV) 限制和高精度要求 。


遵從ASTM E1695-95的Resolution-spirit 通用模體組,適用于納米CT和微米CT的空間分辨精密評(píng)估。它適用于可變市場(chǎng)限制及高精度的需求。


帶有用于 nanoCT 和 microCT 測(cè)量的基準(zhǔn)標(biāo)記的樣品架-R1-Shadow,可以快速直觀地校正旋轉(zhuǎn)臺(tái)的不準(zhǔn)確性和 CT 數(shù)據(jù)配準(zhǔn),適用于雙能量 CT 或 4D CT 等應(yīng)用。 R1-Shadow 是一種多用途解決方案,適合可變視場(chǎng) (FOV) 限制和高精度要求。

類型圖案布局圖案規(guī)格吸收體類型及厚度
納米分辨率測(cè)卡XRESRO-20北京眾星聯(lián)恒科技有限公司



①Radial Pattern

③④Hole Pattern

⑤⑥⑦⑧L&S Pattern


100nm hole

50nm L&S

20nm Radial patterns

Ta 1µm

納米分辨率測(cè)卡XRESRO-50HC北京眾星聯(lián)恒科技有限公司




100nm hole

50nm L&S

50nm Radial patterns



Ta 500nm

納米分辨率測(cè)卡XRESRO-100北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

100nm L&S

200nm L&S

400nm L&S

600nm L&S

800nm L&S


100nm Radial patterns

Ta 100nm

3D西門(mén)子星分辨測(cè)試卡


北京眾星聯(lián)恒科技有限公司最小細(xì)節(jié)小于200nm

結(jié)構(gòu)高度200µm

尺寸Fhi 100µm


顯微CT分辨測(cè)試卡北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

布局由嵌套的L形組成,線寬為: 50 –40 –30 –20 –15 –10 –9 –8 –7 -6 -5 –4 –3 -2 –1.5 -1 –0.9 -0.8 -0.7 –0.6 -0.5 –0.4 –0.35 –0.3 –0.25 –0.2 (微米)

約1.5µm米厚金

Yxlon標(biāo)準(zhǔn)分辨率測(cè)試卡

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司5.0, 4.0, 3.2, 2.5, 2.0, 1.6, 1.3, 1.0, 0.9, 0.8, 0.7, 0.6, 0.5, 0.45, 0.4, 0.35, 0.3 µm線對(duì)3 µm高金

NanoXSpot分辨率測(cè)試卡

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司4象限區(qū)域,每個(gè)區(qū)域4 mm x 4 mm,含兩個(gè)改良的西門(mén)子星,孔陣列(最小孔徑5微米),7組有不同方向的線對(duì)(12 µm, 10 µm, 8 µm, 6 µm, 5 µm, 4 µm, and 3 µm)8 µm高金

微納CT分辨率測(cè)試模體

Spirit resolution

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

球直徑: 0.5, 1.0, 2.5, 5.0mm


< 1 μm to > 10 μm 體素尺寸CT應(yīng)用


遵從 ASTM E1695-95 標(biāo)準(zhǔn)


紅寶石

納米CT體素校準(zhǔn)模體

Voxel-Spirit

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

球直徑: 0.3 mm

球距離: 0.45 mm (認(rèn)證精度: 0.06 μm)


<1 μm 體素CT應(yīng)用

紅寶石
微納CT轉(zhuǎn)臺(tái)擺動(dòng)校正樣品架

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

基準(zhǔn)尺寸 [µm]: 25 25 50 100

適用于 Dual-Energy CT or 4D CT

紅寶石


  • X射線成像系統(tǒng)分辨率測(cè)試

  • X射線CT體素校正

  • X射線CT分辨率評(píng)估


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