該導(dǎo)航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)圖形和FIB的觀察圖像相對應(yīng)起來。當(dāng)CAD系統(tǒng)中的坐標(biāo)位置，樣品臺就會通過鏈接移動到相應(yīng)位置，就可以獲得相應(yīng)位置的SIM圖像。同時(shí)，CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此，很容易檢查到下層布線的狀態(tài)，實(shí)質(zhì)上提高了分析的效率，有利于進(jìn)一步進(jìn)行修理工作。