| X軸(驅(qū)動部) |
| 測量范圍 | 50mm |
| 分辨率 | 0.05μm |
| 長度基準(zhǔn) | 線性編碼器 |
| 驅(qū)動速度 | 0-20mm/s |
| 測量速度 | 0.02-5mm/s |
| 移動方向 | 向后 |
| 直線度 | 0.2μm/50mm |
| 定位 | ±1.5°（傾角，有DAT功能），30mm（向上/向下） |
| 檢測器 |
| 范圍/分辨率 | 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm |
| 檢測方法 | 無軌/有軌測量 |
| 測力 | 4mN或0.75mN |
| 測針針尖 | 金剛石,90o/5μmR(60o/2μmR) |
| 導(dǎo)頭曲率半徑 | 40mm |
| 導(dǎo)頭壓力 | 小于400mN |
| 類型 | 差動電感式 |
| 尺寸(WxDxH) | 425x94x160mm |
| 重量 | 主機(jī)2.7kg |
| 連接裝置3.8kg |
| 評估能力 |
| 適用標(biāo)準(zhǔn) | JIS'82,JIS'94,JIS'01,ISO,ANSI,VDA |
| 評估輪廓 | P(原始輪廓),R(表面粗糙度曲線),DIN4776,粗糙度曲線motif |
| 評價(jià)參數(shù) | Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk,δc,Rk,Mr1,Mr2
Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,Δa,Δq,Wte,Wx,W,AW(可定制)
Rz1max(ISO),Rmax(VDA,ANSI) |
| 分析圖表 | ADC、BAC、功率譜圖 |
| 評價(jià)曲線 | 斷面曲線、粗糙度曲線、DF曲線、波紋曲線表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲線 |
| 解析圖表 | 負(fù)荷曲線、振幅分布曲線 |
| 曲線補(bǔ)償 | 拋物線、雙曲線、圓錐、圓、二次曲線、傾斜補(bǔ)償、無補(bǔ)償 |
| 濾波類型 | 2CR,PC75,高斯 |
| 截止波長 | lc0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm
ls0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm無濾波器
lf0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm無濾波器 |
| 取樣長度 | 0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm; |
| 數(shù)據(jù)補(bǔ)償功能 | 傾斜補(bǔ)償、R平面（曲面）補(bǔ)償、橢圓補(bǔ)償、拋物線補(bǔ)償、雙曲線補(bǔ)償、二次曲線自動補(bǔ)償、多項(xiàng)式補(bǔ)償、多項(xiàng)式自動補(bǔ)償 |
