德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品簡介：
EddyCus®TF映射2525個(gè) 系列高達(dá)樣本自動圖像特征，以非接觸模式250×250平方毫米(10×10英寸)。
在手動樣品定位時(shí)，設(shè)備會自動測量并顯示整個(gè)樣品區(qū)域的特性分布。
測量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測量時(shí)間或每個(gè)樣本超過 50,000 個(gè)測量點(diǎn)的高空間測量分辨率之間進(jìn)行選擇。
由此產(chǎn)生的映射提供了對透明和非透明層或晶片和金屬板的均勻性和質(zhì)量的真實(shí)洞察。
臺式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對薄層電阻、金屬厚度或光學(xué)透明度進(jìn)行準(zhǔn)確成像。
德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀可選型號：
該設(shè)備平臺可用于不同的傳感器配置，包括用于電氣表征的渦流傳感器或用于光學(xué)表征的傳感器。測量配置的變體涉及以下選項(xiàng)。
. 薄層電阻成像 – TF 圖 2525SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
. 金屬厚度成像 - TF map 2525MT [nm, µm, mm, mil]
. 電阻率和電導(dǎo)率成像 – TF 圖 2525RM [mOhm*cm, MS/m]
. 電各向異性成像 – TF 圖 2525a [MD/TD]
. 濕涂層厚度和殘留水分成像 - TF map 2525HF
德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
技術(shù)：非接觸渦流
通過多點(diǎn)映射成像
薄層均勻度控制
質(zhì)量控制、輸入和輸出控制
定位區(qū)域：300 mm x 270 mm
取樣面積：250 x 250 mm(可擴(kuò)展至280 x 280 mm)
推薦的樣品尺寸：1 英寸至 10 英寸或 25 至 250 毫米
測量：
薄層電阻：0.001 到 100 Ohm/sq(Ohm per square, Ohm/sq, OPS)
金屬層厚度：1 nm 至 2 mm(nm、µm、mm、mil)
各向異性：0.33 至 3 (MT/TD)
電阻率/電導(dǎo)率：(mOhm*cm, MS/m, %IACS)
非接觸
快速準(zhǔn)確的測量
導(dǎo)電薄膜的高分辨率映射
對zui大 250 x 250 毫米(10 x 10 英寸)的基板進(jìn)行成像
缺陷檢測和涂層分析
甚至隱藏和封裝的導(dǎo)電層的表征
各種軟件集成分析功能(例如薄層電阻分布、線掃描、單點(diǎn)分析)
測量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能;
德國SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測量儀軟件和設(shè)備控制：
. 輕松設(shè)置測量
. 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)收集和分析
. 掃描和自動點(diǎn)測量模式，包括。測量近邊緣
. 眾多軟件集成分析功能(直方圖分析、標(biāo)準(zhǔn)偏差、線條輪廓、面積分析等)
. 用于系統(tǒng)文檔的用戶友好 PDF 報(bào)告(示例報(bào)告)
. 數(shù)據(jù)導(dǎo)出(如txt)
. 加載和重新分析數(shù)據(jù)集;
