.NM     絕對?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1

運動?向

Z 軸

2

?程

100 um

3

線性度

0.02%

4

搖擺 / 俯仰

30 urad

5

內(nèi)置傳感器

電容式傳感

6

傳感器噪?

0.3 nm

7

Z ?向分辨率，開環(huán)

0.1 nm

8

穩(wěn)定時間 (90%位置到達)

15 ms

0.4 N/um

9

剛性

10

共振頻率(?負載)

650 Hz

11

共振頻率( 150 g 負載)

275 Hz

12

整體重量

270 g

13

不銹鋼304 ，鋁合?