光學(xué)儀器美國紫外光能量計(jì)OAI659用于半導(dǎo)體、EMS、圓封裝和晶圓凸點(diǎn)等行業(yè)的光刻工藝的可靠準(zhǔn)確校準(zhǔn)控制。新型號659是一種新的紫外曝光分析儀，專門設(shè)計(jì)用于包括高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)機(jī)在內(nèi)的所有晶片步進(jìn)機(jī)。

光學(xué)儀器美國紫外光能量計(jì)OAI659

       OAI品牌 659  紫外光能量計(jì)——適用于所有晶圓步進(jìn)機(jī)

在過去的45年里，OAI一直是紫外光和能量測量儀器的世界創(chuàng)造者，用于半導(dǎo)體、EMS、圓封裝和晶圓凸點(diǎn)等行業(yè)的光刻工藝的可靠準(zhǔn)確校準(zhǔn)控制。新型號659是一種新的紫外曝光分析儀，專門設(shè)計(jì)用于包括高強(qiáng)度晶圓步進(jìn)機(jī)在內(nèi)的所有晶片步進(jìn)機(jī)。該儀器的平均曝光讀數(shù)高達(dá)400，具有以太網(wǎng)和USB接口，可下載記錄的測量值，強(qiáng)度范圍高達(dá)7500MW/cm2。探針的波長有365nm、400nm、420nm和436nm可選。OAI擁有一個完整的認(rèn)證校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室，以維護(hù)我們儀表的性能、質(zhì)量和可靠性。659型儀表可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)。

光學(xué)儀器美國紫外光能量計(jì)OAI659規(guī)格：

用戶界面：觸摸屏

計(jì)算機(jī)接口：可選以太網(wǎng)和USB下載記錄

測量

電源：電池采用充電保護(hù)的3.7V鋰離子充電

充電器電源：100-240 VAC

顯示設(shè)置：2個屏幕

1.設(shè)置屏幕：以太網(wǎng)地址、日期和時間

2.運(yùn)行屏幕：波長、強(qiáng)度、時間、劑量、探針溫度、探針類型、偏差百分比、序列號、校準(zhǔn)到期日、電池狀態(tài)、探針序列號和充電器狀態(tài)。

內(nèi)存存儲：高達(dá)400條讀取

強(qiáng)度范圍：高達(dá)7500mw/cm2

強(qiáng)度分辨率：0.01mW/cm2

劑量范圍：高達(dá)1000 J/cm3

劑量分辨率：0.01mJ/cm3

時間范圍：高達(dá)9999秒

時間分辨率：0.0001秒，*小劑量暴露25米秒

尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸

重量：3.5磅

工作環(huán)境：15–40度

符合：ROHS2和CE（EMC和安全）

探頭規(guī)格

選項(xiàng)：非補(bǔ)償溫度探頭

探頭檢測器：硅光電二極管

可用波長（nm）365、400、420、436

過濾器：多層吸收/介質(zhì)

強(qiáng)度范圍：高達(dá)7500MW/cm2

互換性：任何型號的659探針都可以與659儀表一起使用

符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

注：報(bào)價僅為主機(jī)報(bào)價，探頭可從上面4個中（365、400、420、436nm）選擇并單獨(dú)購買，還需提供步進(jìn)機(jī)品牌和型號。

      6XX系列替換了之前的3XX和4XX系列，3XX和4XX系列于2020年12月陸續(xù)停產(chǎn)。