DektakXT®探針式輪廓儀采用革命性的臺(tái)式設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn) 4? （0.4nm） 的的重復(fù)性，掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創(chuàng)新和地位的。DektakXT 結(jié)合了一的技術(shù)和設(shè)計(jì)，可提供的性能、易用性以及價(jià)值，實(shí)現(xiàn)從研發(fā)到質(zhì)量控制的更好過(guò)程監(jiān)控。DektakXT 的技術(shù)突破為微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學(xué)行業(yè)的關(guān)鍵尺寸的納米級(jí)表面測(cè)量提供支持。

布魯克bruker輪廓儀 利用的直接驅(qū)動(dòng)掃描樣品臺(tái)，將測(cè)量時(shí)間加快 40%，同時(shí)保持行業(yè)的性能。Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件，能夠更快地加載 3D 形貌文件，并更快地應(yīng)用篩選器和多區(qū)域數(shù)據(jù)庫(kù)分析。

單拱門(mén)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使 布魯克bruker輪廓儀 更堅(jiān)固，從而將環(huán)境噪音的影響降至低。DektakXT 升級(jí)的"智能電子設(shè)備"可降低溫度變化的影響，并采用現(xiàn)代處理器，大限度地減少噪聲水平，使其成為能夠測(cè)量<10nm 臺(tái)階高度的更強(qiáng)大的系統(tǒng)。