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MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM）

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公司名稱(chēng) 北京科斯儀器有限公司
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所在地 北京市
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2015/12/11 8:00:00
訪問(wèn)次數(shù) 1339

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM），是目前世界上zui大的掃描電鏡，同時(shí)裝備多種不同的探測(cè)設(shè)備（背散射電子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）來(lái)滿足各種需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評(píng)價(jià)原材料的化學(xué)和結(jié)晶體特性。幾乎對(duì)任何樣本都可實(shí)現(xiàn)非常準(zhǔn)確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。

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MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM）

使用通常掃描電子顯微鏡時(shí)，面臨zui大困難之一是被測(cè)樣品大小的限制。通常情況下，只能對(duì)直徑在數(shù)十到一百毫米內(nèi)小的樣本進(jìn)行研究，且只有一兩種關(guān)聯(lián)的分析工具。這限制了這一重要測(cè)試技術(shù)的應(yīng)用。LC-SEM克服了這一點(diǎn)，其超大真空室和光學(xué)系統(tǒng)擴(kuò)展視圖功能zui大可容納直徑與高度分別達(dá)1.5米，重300kg的樣品，分辨率優(yōu)于10納米，放大倍數(shù)10倍-30萬(wàn)倍，真空度10^-6毫巴，加速電壓30kv。從一粒沙子到一個(gè)柴油發(fā)動(dòng)機(jī)大小的樣品，不必切小，僅用一臺(tái)儀器就可以做全面的檢查。其足夠大的空間還可進(jìn)行原位觀察，實(shí)現(xiàn)零部件疲勞、應(yīng)力/應(yīng)變、磨損等非破壞性試驗(yàn)研究。

LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)

LC-SEM試樣室有 3 m³、9 m³、12 m³三種型號(hào)，可觀察zui大試樣尺寸：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強(qiáng)大的三個(gè)真空泵：旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空，渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空，可實(shí)現(xiàn) 10 ^-6mbar的高真空。該系統(tǒng)有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內(nèi)便可以實(shí)現(xiàn)所需的真空度。腔室設(shè)置有多層墻體保證了不受任何外部磁場(chǎng)的影響。

當(dāng)一個(gè)人觀察一個(gè)小的對(duì)象時(shí)，會(huì)在手中扭轉(zhuǎn)對(duì)象，人眼-可視化系統(tǒng)是固定的。當(dāng)觀察一個(gè)更大的物體時(shí)，人會(huì)在物體周?chē)笥乙苿?dòng)，以便*觀察它。*種情況是類(lèi)似于標(biāo)準(zhǔn)SEM的情況，而后者則反映了LC - SEM的情況。

LC -SEM 配備了定位系統(tǒng)，配備有一個(gè)5 +1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)，電子搶、相機(jī)和各種探測(cè)器都懸掛在旋轉(zhuǎn)軸上，zui初是利用遠(yuǎn)程控制來(lái)調(diào)整軸的角度和高度，使柱體的*位置相對(duì)迅速接近樣品的重點(diǎn)區(qū)域，再通過(guò)計(jì)算機(jī)控制移動(dòng)電子槍和探測(cè)器以及完整的光學(xué)系統(tǒng)，可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過(guò)程中，還可以進(jìn)行修改以便優(yōu)化信號(hào)接收。并且還可以移動(dòng)試樣，這樣*地減少了試樣裝載次數(shù)。

四個(gè)電腦顯示器通過(guò)探測(cè)器跟蹤柱和樣品的運(yùn)動(dòng)以及觀察試樣表面特性和分析化學(xué)信息，軟件、電氣和機(jī)械接口通過(guò)一個(gè)單一的終端控制。

成像和分析系統(tǒng)

原位觀測(cè)

除了研究大樣本， LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測(cè)以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過(guò)程的現(xiàn)場(chǎng)觀測(cè)控制中。LC–SEM 也可以通過(guò) “中斷監(jiān)控” 實(shí)現(xiàn)較大的工程部件的無(wú)損檢測(cè)實(shí)驗(yàn)。例如，測(cè)試高壓泵的高負(fù)荷部件的摩擦特性，可以通過(guò)進(jìn)行中斷監(jiān)控來(lái)研究。這些部件在正常工作一段時(shí)期后，可在 LC-SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同使用階段的摩擦特性。這種監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的方式將打開(kāi)一個(gè)全新的、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域，使得我們能夠獲得更直接、更詳細(xì)的對(duì)磨合和破壞過(guò)程的了解。

在LC-SEM內(nèi)的疲勞試驗(yàn)

為了滿足評(píng)估原位變形特性研究的需要，將一個(gè)機(jī)械液壓疲勞試驗(yàn)機(jī)融入到了腔室中，可以在LC - SEM中執(zhí)行疲勞測(cè)試。

在這種聯(lián)合測(cè)試中，不僅能確定材料過(guò)載臨界點(diǎn)，而且裂紋的生成與擴(kuò)展也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗(yàn)后進(jìn)行研究，由此顯微鏡轉(zhuǎn)換成了一個(gè)完整的測(cè)試設(shè)備，能提供完整的測(cè)試結(jié)果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結(jié)構(gòu)變化，同時(shí)能夠觀察微觀結(jié)構(gòu)對(duì)初期裂紋形成與擴(kuò)展的影響。該系統(tǒng)還設(shè)計(jì)有一個(gè)節(jié)點(diǎn)控制機(jī)制，允許感興趣的點(diǎn)始終留在視野當(dāng)中。本機(jī)的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠*地改善疲勞、開(kāi)裂現(xiàn)象的原位研究。

應(yīng)用實(shí)例：美國(guó)田納西大學(xué)--應(yīng)用LC-SEM的疲勞試驗(yàn)

應(yīng)用行業(yè)

材料科學(xué)
軍事與國(guó)防
文化與考古
半導(dǎo)體和電子元件
醫(yī)藥與生物材料
法醫(yī)學(xué)

應(yīng)用領(lǐng)域

無(wú)損檢測(cè)
原位分析
故障分析
高精密小型生產(chǎn)、裝配控制
研究與開(kāi)發(fā)

LC-SEM 技術(shù)規(guī)格參數(shù)

LC-SEM用戶

德國(guó)不來(lái)梅大學(xué) Universität Bremen
德國(guó)漢諾威大學(xué) Umiversitat Hannover
德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué) RWTH Aachen University
德國(guó)埃爾蘭根—紐倫堡大學(xué) Friedrich-Alexanqder-Universität Erlangen-Nûrnberg
德國(guó)多特蒙德工業(yè)大學(xué)  TU Dortmund
德國(guó)不倫瑞克工業(yè)大學(xué) Technische Universität  Braunschweig
日本宇宙航空研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)（JAXA）
美國(guó)NOVA無(wú)損檢測(cè)中心  設(shè)在西肯塔基大學(xué) Nondestructive Analysis （NOVA） Center
美國(guó)能源部國(guó)家核安全管理局的機(jī)構(gòu)   Y-12 National Security Complex
美國(guó)*裝備部延克*基地材料實(shí)驗(yàn)室   Tinker AFB Materials Laboratory

電子光學(xué)
分辨率	優(yōu)于10納米
放大倍數(shù)	10x – 300,000x
加速電壓	0.2 – 30keV
探測(cè)器	二次反射通道倍增電子探測(cè)器四象限背散射電子探測(cè)器
分析能力	能量色散X射線光譜儀（EDS）
	電子背散射衍射（EBSD）
附加功能	聚焦離子束（FIB）
	傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）
	內(nèi)部攝像系統(tǒng)
圖像處理
軟件	MIRA控制系統(tǒng)
硬件	個(gè)人電腦，顯示器和打印機(jī)
真空系統(tǒng)
低真空泵	旋片泵，65立方米/ h
	旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)子泵，400立方米/小時(shí)
高真空泵	渦輪泵2400升/秒
極限真空	直至45分鐘后10^-6毫巴
真空室	3 m³; 9 m³; 12 m³

標(biāo)本
zui大尺寸	高達(dá)直徑1500毫米，高度1500毫米
zui大質(zhì)量	300 kg,
定位系統(tǒng)
軸	5 +1微步控制軸系統(tǒng)
重復(fù)精度	±50 μm
定位范圍
X-軸	600mm, 1000mm, 1500mm
Z-軸	600mm, 1000mm, 1500mm
A-軸	90°
B-軸	135°
C-軸	360°
D-軸	350°

*的定位系統(tǒng)

產(chǎn)品更詳細(xì)介紹:

美國(guó)國(guó)家核安全管理局實(shí)驗(yàn)室（Y12）LC-SEM應(yīng)用

美國(guó)*裝備部延克*基地材料實(shí)驗(yàn)室 LC-SEM應(yīng)用

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北京科斯儀器有限公司

地址：北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)榮華南路16號(hào)中冀斯巴魯大廈1504

：100176

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通過(guò)裝備高級(jí)電子槍，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和高達(dá)30萬(wàn)倍的圖像放大能力，加上強(qiáng)大的二次反射電鏡的通道倍增探測(cè)器，整個(gè)系統(tǒng)通過(guò)多個(gè)運(yùn)行系統(tǒng)保證圖像的質(zhì)量。阻尼系統(tǒng)可以防止外部振動(dòng)影響系統(tǒng)，同時(shí)電子槍和探測(cè)器有一個(gè)創(chuàng)新的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。LC-SEM 和它的所有部件都采用100％的計(jì)算機(jī)控制，其系統(tǒng)全部使用Microsoft Windows ®的軟件設(shè)計(jì)。

通過(guò)分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過(guò)背散射電子成像、能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM 擁有生成完整的測(cè)試結(jié)果的能力。LC-SEM 也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）實(shí)現(xiàn)其擴(kuò)展功能。LC-SEM的可變壓力方式還可以讓工程師和科學(xué)家做傳導(dǎo)和絕緣樣本的臨界面特性研究，包括金屬、陶瓷和金屬間化合物。