一代Dimension系列AFMDimensionIcon原子力顯微鏡(AFM）的性能、功能及附件等方面具有全新表現(xiàn)，在聚合物、半導(dǎo)體、能源、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及材料領(lǐng)域的納米研究中將會(huì)得到廣泛應(yīng)用

一代 Dimension系列 AFM

Dimension Icon 原子力顯微鏡(AFM）的性能、功能及附件等方面具有全新表現(xiàn)，在聚合物、半導(dǎo)體、能源、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及材料領(lǐng)域的納米研究中將會(huì)得到廣泛應(yīng)用。Dimension Icon是Dimension系列產(chǎn)品中的款設(shè)備,它基于世界上應(yīng)用泛的AFM平臺(tái)，集合了數(shù)十年的技術(shù)創(chuàng)新、行的應(yīng)用定制及客戶反饋等于一身。這個(gè)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)從上到下的設(shè)計(jì)，在易用性、高分辨率及快速成像等方面有突出表現(xiàn)。

技術(shù)參數(shù)：

X-Y方向掃描范圍：90um *90um典型值，最小85um
Z方向掃描范圍：10um典型值，在成像及力曲線模式下；最小9.5um
垂直方向噪音基底：<30pmrms,>
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：<0.15nm>
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：<0.10nm>
Z傳感器噪音水平（閉環(huán)）：<35pm rms,="">
整體線性誤差（X-Y-Z）：0.5% 典型值

樣品尺寸/夾具：210mm真空吸盤(pán)樣品臺(tái)，直徑210mm, 厚度15mm
電動(dòng)定位樣品臺(tái)（X-Y軸）：180mm*180mm可視區(qū)域；單向2um重復(fù)性；雙向3um重復(fù)性。
顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)：五百萬(wàn)像素?cái)?shù)字照相機(jī)
180um至1465um可視范圍
數(shù)字縮放及自動(dòng)對(duì)焦功能

控制器：NanoScope V型控制器
工作臺(tái)：整合所有控制器、結(jié)合人體工學(xué)設(shè)計(jì)，提供直接的物理或可視借口
震動(dòng)隔絕：整體式氣動(dòng)減震臺(tái)
聲音隔絕：可隔絕環(huán)境中85 dBC的持續(xù)噪音

主要特點(diǎn)：

結(jié)合Veeco的行業(yè)的針尖-掃描AFM技術(shù)，Icon的溫度補(bǔ)償定位傳感器使Z軸的的噪音水平達(dá)到亞-埃米級(jí)，X-Y方向達(dá)埃米級(jí)。在大樣品臺(tái)、90微米掃描范圍系統(tǒng)的儀器當(dāng)中，這種表現(xiàn)是非常突出的，優(yōu)于絕大部分的開(kāi)環(huán)、高分辨率AFM系統(tǒng)的噪音水平。

Icon不僅具有非常好的分辨率，它還具備許多新的特性，以增加新老AFM用戶操作儀器的便捷性及出圖像速率：
? 設(shè)計(jì)的掃描管，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)掃描功能同時(shí)，具有開(kāi)環(huán)掃描管的噪音水平，在大樣品AFM系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)的分辨率
? 全新設(shè)計(jì)的XYZ閉環(huán)掃描管，在不影響圖像質(zhì)量下具有非常高的掃描速度，具有非?？斓臄?shù)據(jù)采集能力
? 的NanoScope軟件版本，提供直觀的操作流程及默認(rèn)實(shí)驗(yàn)?zāi)K，將復(fù)雜的AFM操作流程轉(zhuǎn)化為預(yù)先設(shè)置
? 高分辨率的照相機(jī)及X-Y定位，實(shí)現(xiàn)更迅速、更有效的樣品定位
? 開(kāi)放的針尖及樣品環(huán)境，適用于絕大部分的標(biāo)準(zhǔn)或定制實(shí)驗(yàn)
? 硬件及軟件設(shè)置適用Veeco現(xiàn)有的及即將推出的所有模式及技術(shù)，包括現(xiàn)有的的HarmoniX納米材料性能成像模式