系統(tǒng)簡介
SNE-4500M是一款高性價(jià)比的臺(tái)式掃描電鏡。系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小，安裝簡便。無需特殊的使用環(huán)境。非常適用于實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。產(chǎn)品有多種型號可選，放大倍率從6萬倍-15萬倍，分辨率5nm-15nm，具有BE/BSE二次電子和背散射電子（BE/BSE）兩種探測模式，可搭載EDS能譜儀。不僅能顯示試樣表面的微觀形貌，還可進(jìn)行定性成分分析。該產(chǎn)品操作簡便，測樣速度相當(dāng)快。維護(hù)方便快捷。
系統(tǒng)特點(diǎn)
高性價(jià)比
分辨率5nm
放大倍率15萬倍
BE/BSE（二次電子/背散射電子）
五軸自動(dòng)載物臺(tái)
加速電壓1 ~ 30kV連續(xù)可調(diào)
EDS 能譜儀連用，
高性價(jià)比
性能優(yōu)異，使用簡便，維護(hù)及使用成本低，價(jià)格便宜，售價(jià)與光學(xué)顯微鏡相當(dāng)。具有的性價(jià)比。
放大倍率15萬倍，分辨率5nm
BE/BSE（二次電子/背散射電子）
SE(Secondary Electron)二次電子以樣品表面形態(tài)信息構(gòu)現(xiàn)影像，主要用于顯示樣品表面的微觀形貌。
BSE(Backscattered Electron)背散射電子，以組成樣品的成分(原子序數(shù))為成像原理，利用背反射電子作為成像信號不僅能分析形貌特征，也可以用來顯示原子序數(shù)襯度，定性進(jìn)行成分分析。
該設(shè)備能實(shí)現(xiàn)在雙視圖模式下同時(shí)對SE/BSE圖像進(jìn)行查看和存檔
EDS 能譜儀連用
可搭配Bruker或牛津EDS能譜儀，能譜與SEM結(jié)合使用可以同時(shí)獲得表面形貌與成分的信息
加速電壓1 ~ 30kV連續(xù)可調(diào)節(jié)
加速電壓越高，分辨率越好，但是對樣品穿透性越高，樣品表面細(xì)節(jié)丟失越多，加速電壓越低樣品微觀細(xì)節(jié)越充分但是分辨率較低，SEC電鏡產(chǎn)品為獲得更佳的SEM拍攝效果，加速電壓連續(xù)可調(diào)，使得客戶在進(jìn)行樣品SEM拍攝時(shí)可以獲得樣品形貌更多的細(xì)節(jié)。
五軸載物臺(tái)
采用X，Y，Z，R，T五軸全自動(dòng)設(shè)計(jì)，可同時(shí)運(yùn)用鼠標(biāo)與快捷鍵控制載物臺(tái)無限制的運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)電鏡對樣品的分析，T軸旋轉(zhuǎn)角度為-45°~90°，可獲取多角度拍攝，該系統(tǒng)還具備光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)，位置記憶功能。
詳細(xì)參數(shù)
| 型號 | SNE-4500M Plus-A | SNE-4500M Plus-B | SNE-4500M | SNE-3000MS | SNE-3200M |
| 分辨率 | 5? | 5? | 5? | 15? | 15? |
| 放大倍率 | 150,000x | 150,000x | 100,000x | 60,000x | 60,000x |
| 測量模式 | SE | SE/BSE | SE | SE | SE/BSE |
| 載物臺(tái) | 五軸自動(dòng) | 五軸自動(dòng) | 五軸手動(dòng) | 三軸手動(dòng) | 三軸手動(dòng) |
| 樣品尺寸 | 80㎜(D) / 50㎜(H) | 80㎜(D) / 50㎜(H) | 80㎜(D) / 35㎜(H) | 70㎜(D) / 30㎜(H) | 70㎜(D) / 30㎜(H) |
| 電子束類型 | 鎢燈絲 |
| 加速電壓 | 1-30?連續(xù)可調(diào) |
| 顯示模式 | 320 x 240 / 640 x 480 / 1,280 x 960 / 2,560 x 1,920 / 5,120 x 3,840 |
| 圖像樣式 | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| 真空泵 | 機(jī)械泵+分子泵 |
應(yīng)用實(shí)例
