粗糙度輪廓一體機(jī) Infex6362N-sdn
特點(diǎn)：
2 一次測(cè)量實(shí)現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析
2 實(shí)現(xiàn)全范圍內(nèi)的粗糙度、波紋度測(cè)量
Ø 測(cè)量原理
本儀器測(cè)量原理為直角坐標(biāo)測(cè)量法，即通過X軸、Z1軸傳感器，測(cè)繪出被測(cè)零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn)，通過電器組件，將傳感器所測(cè)量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔籔C機(jī)，軟件對(duì)所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理，標(biāo)注所需的工程測(cè)量項(xiàng)目。
Ø 測(cè)量功能
輪廓測(cè)量功能：
尺寸：包含水平距離、垂直距離、線性距離、半徑、直徑
夾角：包含水平角、垂直角、夾角
位置公差：包含平行度、垂直度
形狀公差：包含直線度、凸度、圓弧
輪廓度輔助生成：包含輔助點(diǎn)、輔助線、輔助圓
糙度測(cè)量功能：
R參數(shù)：Ra、Ramax、Ramin、Rasd、Rp、Rpmax、Rpmin、Rpsd、Rv、Rvmax、Rvmin、Rvsd、Rz、Rzmax、Rzmin、Rzsd、R3z、Rc、Rcmax、Rcmin、Rcsd、Rt、Rq、Rqmax、Rqmin、Rdsd、Rsk、Rskmax、Rsmin、Rsksd、Rku、Rkumax、Rkumin、Rkusd、Rsm、Rsmmax、Rsmmin、Rsmsd、Rs、R△a、R△amax、R△amin、R△asd、R△q、R△qmax、R△qmin、R△qsd、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rλa、Rλamax、Rλamin、Rλasd、Rλq、Rλqmax、Rλqmin、Rλqsd、Rδc、Rpc、Rmr
W 參數(shù)：Wa、Wamax、Wamin、Wasd、Wsa、Wca、Wa08、Wc、Wcmax、Wcmin、Wcsd、Wt、Wz、Wzmax、Wzmin、Wzsd、Wp、Wpmax、Wpmin、Wpsd、Wv、Wvmax、Wvmin、Wcsd、Wq、Wqmax、Wqmin、Wqsd、Wsm、Wsmmax、Wsmmin、Wsmsd、Wsk、Wskmax、Wskmin、
Wsksd、Wku、Wkumax、Wkumin、Wkusd、W△q、W△qmax、W△qmin、W△qsd、Wδc、Wmr
P參數(shù)：Pa、Pt、Pp、Pc、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、RzJ、Rpq、Rvq、Rmq、Pmr、P△q、Avh、Hmax、Hmin、Area、Pδc、Tilta、
Motif參數(shù)：Ncrx、R、Rx、AR、Nr、Cpm、Sr、Sar、W、Wx、Aw、Wte、Nw、Sw、Saw
截止波長(zhǎng)（λc）：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm
評(píng)定長(zhǎng)度：λcX2,3,4,5,6,7，X軸有效范圍內(nèi)
濾波器：高斯濾波器，圓弧濾波器，非線性濾波器，2RC濾波器
Ø 測(cè)量范圍
| 項(xiàng)目 | 測(cè)量范圍 | 分辨率 |
| 傳感器 | ±7.5mm | 0.02μm |
| 驅(qū)動(dòng)器 | 100mm | 0.2μm |
| 立柱 | 320mm | - |
Ø 技術(shù)規(guī)格
| 技術(shù)參數(shù) | 指示精度1 | ≤±（0.8+2L/100）μm |
| 直線度2 | ≤0.3μm/100mm |
| Z軸線性精度3 | ≤±（0.8+|0.12H|）μm |
| 粗糙度指示精度 | ≤±（8nm+3.5％） |
| 重復(fù)性4 | 1δ≤2nm |
| 殘值噪聲5 | ≤12nm |
| 圓弧6 | ≤（1.2+R/12）μm |
| 圓弧Pt6 | ≤±0.3μm |
| 角度7 | ≤±1′ |
| 運(yùn)動(dòng)控制 | X軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) |
| Z軸驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng) |
| X軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.05~15mm/s |
| Z軸驅(qū)動(dòng)速度 | 0.2-15mm/s |
注：1、L為測(cè)量長(zhǎng)度，精度檢驗(yàn)方法：激光干涉儀；2、λc為2.5mm，測(cè)量速度≤0.3mm/s，測(cè)量平晶；3、H為的測(cè)量高度；4、采用Ra為0.35-0.5μm的方波標(biāo)準(zhǔn)件；5、λc為0.08mm，測(cè)量速度為0.1mm/s，測(cè)量平晶；6、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°；7、60°、90°的角度塊，角邊取樣長(zhǎng)度為5mm；8、以上參數(shù)均在20℃±2℃，階梯溫度不超過2℃/h和地面振動(dòng)RMS＜50Hz 2.5μm/s 且 RMS＞50Hz 5.0μm/s的環(huán)境下測(cè)得。
