儀器名稱：場發(fā)射掃描電子顯微鏡

品牌:  日本電子

型號：JSM-7610F

產(chǎn)地：日本

儀器介紹：

1.超高分辨圖像的觀察，放大倍數(shù)1百萬倍

開發(fā)的強勵磁物鏡極靴設(shè)計，JSM-7610F的象差小，圖像分辨率高，特別是在低加速電壓下仍保持很高的分辨率，適合于材料表面的高分辨圖像觀察，分辨率指標(biāo)如下：

          1.0nm (二次電子,加速電壓：15kV)

          1.3nm (二次電子,加速電壓：1kV)突出的低壓分辨率

2. 分子泵系統(tǒng)：真空系統(tǒng)潔凈，抽氣速度快，維護(hù)簡單。

3.五軸馬達(dá)樣品臺標(biāo)準(zhǔn)控制：使用極為方便。

4.大樣品室：利用JSM-7610F的標(biāo)準(zhǔn)配置，即可進(jìn)行直徑為150mm樣品的觀察；絕大部分操作通過鼠標(biāo)即可實現(xiàn)。

5.能量過濾器：可以按任意比例混合二次電子和背散射電子圖像。

6.  圓錐型熱場發(fā)射電子槍：電子束虛漂移小，改變加述電壓無需手動調(diào)節(jié)虛漂移點。7.光闌角控制透鏡： 無須手動切換光闌，束流大小由計算機自動控制。

8. 離子泵的電源支持：停電后最長可以堅持14天，電池更換每年只需200元以內(nèi)。

9.良好的可操作性：控制界面設(shè)計非常友好，使用極為便利。

10.多通道顯示：最多可以選擇四種圖像同時顯示，高位二次電子像，低位二次電子像，背散射組成像和背散射拓?fù)湎瘛?/span>

11. 穩(wěn)定的GB模式：標(biāo)準(zhǔn)配置。可以有效抑制充電和提高點電壓下的分辨率。

12. 微區(qū)的成份分析幾何尺寸好：配合能譜儀（EDS）分析時，工作距離只有8mm， 取出角35度，計數(shù)率是其他廠家的一倍。

13.超長的發(fā)射體壽命: 由于采用In-Lens技術(shù)，我們的束流強度可以達(dá)到200nA，其他廠家只能做到20nA.我們在做成分分析時，或搭載EBSD或WDS時，分析速度和結(jié)果的精確度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于他們。采用了In-Lens電子槍技術(shù)和的氣鎖換樣系統(tǒng)，我們的發(fā)射體質(zhì)保3年，用戶一般使用在6年以上。