產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 采用高精度花崗巖底座和立柱，確保機(jī)臺擁有的高穩(wěn)定性和精確度；
● 采用高精密無牙光桿和快速移動鎖緊裝置，確保工作臺回程誤差在2um以內(nèi)；
● 采用高精度儀器光學(xué)尺配合精密工作臺，確保機(jī)臺精度在≤2.5+L/200um以內(nèi)；
● 采用高清變焦鏡頭和高解析度彩色相機(jī)，確保畫質(zhì)清晰無畸變；
● 采用程控式表面4環(huán)8區(qū)LED冷光源和透射LED平行光源，以及內(nèi)置智能燈光調(diào)節(jié)模塊，可自由控制燈光在4環(huán)8區(qū)任何區(qū)域的亮度；
● Z軸采用高精度直線導(dǎo)軌和伺服電機(jī)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動對焦，消除人為聚焦誤差，提升測量精度和穩(wěn)定性；
● 功能強(qiáng)大的iMeasuring2.2影像測量軟件，提升品質(zhì)管控到新的臺階；
● 可選進(jìn)口接觸式探針和三維測量軟件，輕松將機(jī)臺升級成為接觸式三次元測量機(jī)；
● 可選FexQMS測量數(shù)據(jù)分析及和實(shí)時監(jiān)控軟件，提升制程控制、降低物料耗損。