①SU3900掃描電子顯微鏡標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品通過(guò)更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品選配樣品交換倉(cāng)，可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*紅外CCD探測(cè)器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性■支持全視野移動(dòng)

①SU3900掃描電子顯微鏡標(biāo)配多功能超大樣品倉(cāng)，可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察

■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品

• 通過(guò)更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品

• 選配樣品交換倉(cāng)，可在主樣品倉(cāng)保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率

• 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*

• 紅外CCD探測(cè)器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性

■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

• 與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉(cāng)室導(dǎo)航相機(jī)

• 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域

• 支持360度旋轉(zhuǎn)

②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡(jiǎn)約GUI

■各種自動(dòng)化功能

• 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

• 提高了自動(dòng)聚焦精度

• 搭載Intelligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告

③可提供滿(mǎn)足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿(mǎn)足多種觀察需求的探測(cè)器

• 搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察

• 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器，切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉(cāng)，可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測(cè)量軟件Image pro